metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode...

55
1 Investeşte în oameni ! FONDUL SOCIAL EUROPEAN Proiect cofinantat din Fondul Social European prin Programul Operational Sectorial Dezvoltarea Resurselor Umane 2007-2013 Universitatea “Ştefan cel Mare” din Suceava FACULTATEA DE INGINERIE ELECTRICĂ ŞI ŞTIINŢA CALCULATOARELOR SPECIALIZAREA INGINERIE ELECTRONICĂ ȘI TELECOMUNICAȚII Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza dispozitivelor organice şi al elementelor componente. Raport de cercetare nr. 2 Conducător ştiinţific: Prof. dr.ing Adrian Graur Doctorand: Ing. fiz. Marius Prelipceanu Suceava, februarie 2013

Upload: others

Post on 03-Mar-2020

30 views

Category:

Documents


0 download

TRANSCRIPT

Page 1: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

1

Investeşte în oameni ! FONDUL SOCIAL EUROPEAN Proiect cofinantat din Fondul Social European prin Programul Operational Sectorial Dezvoltarea Resurselor Umane 2007-2013 Universitatea “Ştefan cel Mare” din Suceava FACULTATEA DE INGINERIE ELECTRICĂ ŞI ŞTIINŢA CALCULATOARELOR SPECIALIZAREA INGINERIE ELECTRONICĂ ȘI TELECOMUNICAȚII

Metode experimentale pentru

fabricarea şi analiza dispozitivelor

organice şi al elementelor

componente.

Raport de cercetare nr. 2 Conducător ştiinţific: Prof. dr.ing Adrian Graur

Doctorand: Ing. fiz. Marius Prelipceanu

Suceava, februarie 2013

Page 2: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

2

Investeşte în oameni ! FONDUL SOCIAL EUROPEAN Programul Operaţional Sectorial pentru Dezvoltarea Resurselor Umane 2007 – 2013 Axa prioritară 1: „Educaţia şi formarea profesională în sprijinul creşterii economice şi dezvoltării societăţii bazate pe cunoaştere” Domeniul major de intervenţie 1.5 "Programe doctorale şi post-doctorale în sprijinul cercetării" Beneficiar: Universitatea Tehnică din Cluj-Napoca Partener: Universitatea “Stefan cel Mare” din Suceava Acord de parteneriat nr. 24266/30.09.2010 Această lucrare a beneficiat de suport financiar prin proiectul "Q-DOC – Creşterea calităţii studiilor doctorale în ştiinţe inginereşti pentru sprijinirea dezvoltării societăţii bazate pe cunoaştere, Contract nr. POSDRU/CPP107/DMI1.5/S/78534, proiect cofinanţat din Fondul Social European prin Programul Operaţional Sectorial Dezvoltarea Resurselor Umane 2007-2013.

Page 3: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

3

CUPRINSUL LUCRĂRII

Lista figurilor 4 Scopul şi conţinutul lucrării 6

Capitolul I Materiale semiconductoare organice 7

I.1 Purificarea substanţelor organice semiconductoare

7

I.2 Topirea zonală 8

I.3 Metoda cromatografică 10

I.4 Semiconductori organici cu molecule mici 11

Capitolul II. Prepararea straturilor subţiri organice semiconductoare şi a dispozitivelor optoelectronice organice

14

II.1 Introducere 14

II.2 Evaporare termică în vid a materialelor organice 15

II. 3 CONTRIBUȚII PERSONALE

Investigaţii microscopice ale straturilor obţinute 20

II.4 Investigaţii UPS pentru straturile obţinute 29 Referinţe bibliografice 38

II.5 Depunerea straturilor organice prin dispersie “spin coating” 42

II.6 CONTRIBUȚII PERSONALE

Proprietățile electrice pentru câțiva semiconductori organici în straturi subțiri pretabili în construcția termistorilor

49

Referinţe bibliografice 54

Page 4: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

4

Lista figurilor Figura 1. Topirea zonală - schemă de principiu Figura 2. Instalaţia de topirea zonală utilizată- schemă de principiu Figura 3. Câteva substanţe cu molecule mici folosite în dispozitivele OFET şi OLED

Figura 4. Poly-[2,2’-(1,4-phenylene)-6,6’-bis(3-phenylquinoxaline)] (PPQ IA) Figura 5. Reprezentarea schematică a instalaţiei de depunere utilizată experimental Figura 6. Structuri organice pregatite pentru investigaţii electrice reprezentare schematică Figura 7. Structuri de electrozi obţinuţi prin evaporare termică în laborator şi utilizate în experimentele proprii cu dimensiuni ale canalului de transport (10, 20, 40 μm) Figura 8. Creşterea straturilor în vid – reprezentare schematică Figura 9. Imagini AFM ale filmelor de pentacene depuse în vacuum pentru diferite grosimi (a). 38 nm se pot observa structurile lamelare (b). 25 nm nu pot fi observate structuri lamerare Figura 10. Imagini AFM ale straturilor subţiri de pentacene purificat şi depus la temperatura substratului de 88

0 C cu o rată de depunere de 0,1 nm/s. Morfologia

straturilor este constituită din dendrite cum ar fi cristale cu forme circulare. Figura 11. Imagine AFM a straturilor subţiri cu aspect de terase . Figura 12.Investigarea suprafeţei şi diferite interpretări pentru filmele obţinute în vacuum. Figura 13. Topografie AFM pentru depuneri de PTFE pe suport SiOx/Au Figura 14. Topografie AFM pentru depuneri de PTFE pe suport Si/Au Figura 15. Topografie AFM pentru depuneri de Pentacene pe suport de SiOx/Au/PTFE (a) si Pentacene pe suport de Si/Au/PTFE (b) Figura 16. Analiză de rugozitate a straturilor obţinute prin evaporare termică în vid Figura 17. Structuri de măşti utilizate în obţinerea electrozilor metalici (varianta simplă şi o alta complexă) Figura 18. Investigaţii microscopice pentru electrozi metalici Figura 19. Structura chimică a materialelor studiate

Figura 20. Geometria experimentului UPS. α-unghiul de incidenţă; θ-unghiul de ieşire; φ-unghiul azimut; hυ-energia incidentă a fotonilor; k-vectorul undă al fotoelectronilor

emişi; k and k - componentele k, perpendiculare şi paralele cu suprafaţa probei.

Figura 21.Spectrul de valenţă UPS al compuşilor RA1 (a) şi RA2 (b) la 50 eV energia fotonilor incidenta. Experimental- simbol line; simulare spectra-full line. Figura 22.Spectrul de valenţă UPS al compuşilor RA1 (a) şi RA2 (b) la 40 eV energia fotonilor incidenta. Experimental- simbol line; simulare spectra-full line

Page 5: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

5

Figura 23. Diagrama energetică pentru compusul RA1

Tabelul 1 Compararea rezultatelor obţinute Figura 24 .Structura chimică pentru compusul TPQ

Figura 25. Structura schematică a probelor utilizate în experimental UPS

Figura 26. Spectrul UPS pentru TPQ la 3000 eV energia fotonilor Figura 27. Identificarea grupurilor corespunzătoare maximelor spectrale Figura 28. Spectrul electronic de valență pentru TPQ măsurat la un unghi de incidență de 45 de grade și emisie normală

Figura 29. Paşii procesului de depunere prin “spin coating”

Figura 30. Procesul de dispersie a lichidelor reprezentat schematic.

Figura 31. Funcţionarea forţelor aplicate în spin coating

Figura 32. Corelaţia timp-acceleraţie în procesul de spin coating

Figura 33. Influiența variației parametrilor în procesul de spin coating

Figura 34. Dependenţa grosimii stratului obţinut în spin coating şi investigarea AFM a filmelor obţinute. Figura 35. Investigarea computerizată a imaginilor AFM Figura 36. Structura chimica a compușilor analizați Figura 37. Morfologia AFM a probelor investigate Figura 38. Dependența conductivității electrice de temperatură pentru compusul F1 (stânga) și dependența evoluției conductivității pentru toata seria de conpuși (dreapta)

Figura 39. Dependența de temperatură a coeficientului Seebeck

Page 6: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

6

Scopul şi conţinutul lucrării

Scopul acestei referat ştiinţific este prezentarea în detaliu a

metodelor de preparare a dispoziţivelor optoelectronice confecţionate din

materiale organice semiconductoare.

Fiecare metodă experimentală abordată va fi tratată amănunţit

plecând de la faza tehnică a componentelor de sistem pentru instalaţiile

de depunere utilizare, procedee chimice şi fizice care au loc în timpul

depunerii şi realizării straturilor subţiri organice, investigaţii de

miscroscopie pentru studiul morfologiei straturilor obţinute, investigaţii de

rugozitate, investigaţii spectrometrice şi optice precum şi măsurători

electrice.

Pe lângă descrierea teoretică, fiecare metodă prezentată va fi

ilustrată cu rezultate experimentale proprii ca şi contribuţie la dezvoltarea

ştiinţifică în domeniu.

Referatul este structurat pe două capitole, fiecare prezentând mai

întâi o serie de materiale pretabile pentru acest fel de aplicaţii electronice,

avantaje şi dezavantaje ale utilizării acestui tip de materiale şi continuând

cu câte o metodă tehnologică de obţinere a dispozitivelor organice cu

rezultatele ştiinţifice obţinute.

La finalul prezentării fiecărei metode de contrucție vom analiza

cazuri concrete de dispozitive obţinute şi ale căror funcţionare şi

proprietăţi au fost raportate deja în reviste de specialitate international

cotate ISI ca şi contribuţii personale sau care sunt în curs de publicare sau

în stadiul de evaluare la editurile revistelor de specialitate internaţionale.

Page 7: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

7

CAPITOLUL I Materiale semiconductoare organice

1.1. Purificarea substanţelor organice semiconductoare

Prima etapă care poate fi considerată una esenţială în obţinerea

semiconductorilor organici este purificarea substanţelor organice

semiconductoare. Această etapă ridică probleme iar pentru multe dintre

substaţele organice este puţin porbabil să se obţină gradul de puritate la

care s-a ajuns în cazul semiconductorilor anorganici cum ar fi germaniu,

siliciu sau indiu.

Voi enumera în cele ce urmează câteva procedee elaborate în

literatură şi folosite îndeajuns de mult şi cu ajutorul cărora s-au obţinut

materiale organice de înaltă puritate. Primul dintre acestea ar fi topirea

zonală, metodă cu care au fost obţinute monocristale de antracen, unde la

107 molecule de antracen corespunde un atom de impuritate. Atomii

metalelor induşi ca şi impurităţi în semiconductorii organici influenţează

conductibilitatea electrică întrucât ei se ionizează uşor, generând purtători

liberi de sarcină.

Impurităţile influenţează de asemenea şi mobilitatea purtătorilor de

curent. În structurile policristaline apar deseori imperfecţiuni structurale,

cele mai frecvente fiind dislocaţiile, mai ales la contactul dintre cristale.

Cercetările au evidenţiat faptul că atomii de impurităţi au tendinţa de a se

grupa în jurul acestor imperfecţiuni. Purificarea substanţelor organice

semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi:

recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia. După aplicarea

acestor metode se obţin substanţe cu grad mare de puritate prin topirea

zonală, cromatografie, sublimare, centrifugare sau electroforeză. În acest

capitol vom descrie pe scurt principalele metode utilizate în purificarea

semiconductorilor organici, cu detalii legate de metodele chimiei organice

dar şi metode tehnologice.

Page 8: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

8

1.2. Topirea zonală

Metoda permite separarea sau redistribuirea în mod convenabil a

impurităţilor existente într-un material, cu condiţia ca acesta să se

topească la temperaturi care nu duc la decompunerea chimică. Topirea

zonală se utilizează nu numai pentru purificarea metalelor,

semiconductorilor anorganici şi organici, dar şi pentru obţinerea

monocristalelor şi omogenizarea lor.

Principiul metodei este următorul: un anumit tip de impurităţi

introdus într-o substanţă poate să coboare sau să ridice punctul de topire

al acesteia. Dacă topim substanţa, în topitură se răspândesc uniform un

anumit tip de impurităţi, dar în concentraţie mai mică întrucât topitura se

supune legilor soluţiilor diluate. Dacă într-o anumită regiune, printr-un

procedeu oarecare, se solidifică topitura atunci impuritatea se va repartiza

diferit în solid şi în topitură. Impuritatea care coboară punctul de topire se

va acumula în faza lichidă, regiunea solidificată va rămâne astfel mai pură

iar cele care ridică punctul de topire vor fi colectate în faza solidă, topitura

rămânând mai pură.

Metoda topirii zonale constă în accentuarea acestor neomogenităţi

de compoziţie, colectând tot mai mult impurităţile într-o anumită porţiune a

materialului. Într-o formă simplificată, metoda constă în topirea unei zone

a unei bare din materialul de purificat şi deplasarea lentă a acestei zone în

lungul barei. Figura 1 reprezintă schematic principiul metodei. Cu un

încălzitor special se topeşte o anumită porţiune din material. Impurităţile

se acumulează în zona topită iar prin deplasarea încălzitorului în sensul

indicat, impurităţile vor fi antrenate de zona topită către extremitatea din

dreapta a barei, capătul din stânga rămânând mai pur. Pentru a realiza un

grad mai mare de puritate se repetă numărul de topiri. Acestea se pot

realiza fie repetând procedeul, fie folosind un ansamblu de mai multe

încălzitoare situate la o anumită distanţă unul de celălalt. În cazul topirii

zonale numai o mică porţiune a barei se găseşte la temperatură ridicată,

sau în stare lichidă, reducându-se prin aceasta posibilitatea de

Page 9: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

9

impurificare a topiturii cu impurităţi provenite din atmosferă sau de la

aparatura de lucru.

Figura 1. Topirea zonală- schemă de principiu

Instalaţiile de topire zonală pot fi construite în diferite moduri ca şi

geometrie dar ca şi temperatură de lucru legată de tipul materialului ce

urmează a fi purificat. Instalaţia utilizată pentru purificarea diferitelor

materiale organice care au fost studiate în acest referat ştiinţific şi care vor

fi prezentate pe larg în capitolul viitor este reprezentată schematic în figura

2.

Figura 2. Instalaţia de topirea zonală utilizată- schemă de principiu

Page 10: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

10

În această instalaţie încălzirea se face prin radiaţie. Filamentul unei

lămpi cu incandescenţă (a), este fixat în focarul unei oglinzi parabolice (b)

care trimite raze pe oglinda sferică (c). În focarul acesteia din urmă se

găseşte un tub de sticlă (d) care este acoperit cu un ecran metalic opac

(e). O mică fereastră (f) permite razelor să treacă şi să producă topirea

zonală. Tubul de sticlă se poate deplasa prin faţa ferestrei cu ajutorul unui

mecanism de antrenare (g).

1.3. Metoda cromatografică

Metoda aceasta constă în separarea unui amestec de substanţe

dizolvate, prin trecerea lor printr-o coloană constituită dintr-o substanţă

solidă care funcţionează ca adsorbant sau schimbător de ioni. Separarea

are loc datorită diferenţelor de intensitate cu care componentele

amestecului se adsorb pe substanţa adsorbantă, substituie ionii din

substanţa schimbătoare de ioni, care de fapt sunt compuşi naturali sau

sintetici de natură minerală sau organică care au proprietatea de a reţine

anumiţi ioni din soluţii. Corespunzător se deosebesc trei tipuri principale

de cromatografie: de adsorbiţie, bazată pe adsorbţia cu viteze diferite ale

substanţelor din amestec, prin schimb de ioni, de repartiţie în care

substanţa se repartizează între două faze, lichid-lichid sau lichid – gaz. De

un tip special de cromatografie pe hârtie în care coloana este înlocuită cu

o coală de hârtie filtru specială.

Metoda cromatografică a fost utilizată cu succes pentru purificarea

substanţei organice cu proprietăţi semiconductoare cu ar fi antracen,

hidrocarburi aromatice dar şi o gamă largă de coloranţi.

În categoria alte metode putem vorbi de metoda recristalizării din

soluţie care se bazează pe diferenţa de solubilitate a substanţei şi a

impurităţilor într-un solvent. Se folosesc la solvenţi cum ar fi xilen,

dimetilformamidă, diclorbenzen şi chinolină. Aceştia dizolvă bine o mare

parte din compuşii aromatici macromoleculari. Principalul neajuns al

metodei constă în faptul că o mică parte din moleculele solventului sunt

Page 11: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

11

introduse în substanţa care se purifică influenţând proprietăţile fizice ale

acesteia.

Mai avantajoasă este utilizarea metodei de distilare. În acest caz

lipseşte solventul ca agent posibil de impurificare. Temperaturile de

distilare sunt în general mici şi nu depăşesc 350 grade Celsius. Realizarea

vidului în instalaţiile de distilare are ca rezultat o coborâre a temperaturii

de distilare, dar şi evitarea impurificării compusului cu produse de

dezagregare.

Sublimarea este recomandată în special pentru acele substanţe,

care, în vid înaintat, trec direct din stare solidă în stare de vapori fără să

se descompună. Metodele de purificare trebuie adesea combinate până la

obţinerea unui compus cu proprietăţi intrinseci. După purificare,

materialele organice obţinute mai trec şi prin alte procedee chimice care

nu fac obiectul acestui referat dar la care în final duc la obţinerea

materialelor semiconductoare organice din care pot fi construite straturile

subţiri, ce ulterior sunt investigate şi plasate ca materiale active sau pasive

în dispozitivele optoelectronice.

1.4. Semiconductori organici cu molecule mici

Pentacenul este un semiconductor organic interesant, folosit pentru

fabricarea tranzistorilor subţiri (vezi figura 3). Mobilitatea mare – 1,5

cm2/Vs – face ca acest material să fie comparabil cu siliciul amorf,

standard tehnologic la acest moment, iar structura cristalină a straturilor

oferă tranzistorilor subţiri ce utilizează pentacene, un model cu ajutorul

căruia poate fi studiat într-un mod simplificat transportul de sarcină. Baza

acestor efecte, alături de morfologia şi structura cristalină a straturilor,

constituie parametrii principali în determinarea caracteristicilor

tranzistorilor. Alte structuri chimice folosite pentru aplicaţii electronice sunt

de asemenea ilustrate în figura 3. Materialele cum ar fi Pentacene,

Phtalocyanine – Pc, Sexithiophene – 6T au fost produse şi comercializate

de către Aldrich Chemical Corporation.

Page 12: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

12

Figura 3. Câteva substanţe cu molecule mici folosite în dispozitivele OFET şi OLED

Pentru aplicaţiile OLED ne-am concentrat atenţia asupra compuşilor

moleculari mici, cât şi a polimerilor, în particular quinoxalinele.

Quinoxalinele sunt caracterizate prin heterocicluri care, datorită

potenţialului de ionizare şi afinităţii lor pentru electroni, în comparaţie cu

alte materiale, le face interesante din punct de vedere al transportului

electronilor sau golurilor. În chimia organică, acestea sunt bine cunoscute

ca stabile termic şi chimic. Polyphenyl/quinoxalinele - PPQs – au fost

primele materiale dezvoltate în 1960 şi apoi 1970 pentru aplicaţii în

industria aviatică, deoarece au excelente proprietăţi mecanice, termice şi

de creştere a straturilor. În acest domeniu au fost publicate numeroase

studii legate de caracteristicile mecanico-termice, dar cu toate acestea,

proprietăţile lor electrice nu au fost încă deplin exploatate.

Figura 4. a) Poly-[2,2’-(1,4-phenylene)-6,6’-bis(3-phenylquinoxaline)] (PPQ IA)

[N

N

N

N

]n

Page 13: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

13

PPQ este în general foarte solubil într-o varietate comună de

solvenţi organici şi în acord cu materialele publicate ei prezintă tranziţii de

fază la temperaturi relativ mari (250 – 350 0 C.)

Disocierea polimerilor s-a făcut între 515 – 540 0 C, depinzând de

structura chimică. Toate aceste proprietăţi îl transformă într-un bun

candidat pentru tehnicile de depunere prin „spin coating” şi alte tehnici

bazate pe prepararea din fază de soluţie.

Page 14: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

14

CAPITOLUL II

Prepararea straturilor subțiri organice semiconductoare şi a dispozitivelor

optoelectronice organice

2.1. Introducere

Proprietăţile straturilor subţiri semiconductoare, în general, se

deosebesc de cele ale materialelor masive din care au fost obţinute.

Grosimea straturilor şi structura lor determină aceste deosebiri. Electronii

de conductibilitate sunt împrăştiaţi de suprafeţele care mărginesc stratul şi

ca urmare, liberul parcurs mediu al acestora scade odată cu scăderea

grosimii stratului. Aceasta determină o scădere a mobilităţii purtătorilor de

curent şi a conductibilităţii electrice a straturilor. Cercetările microscopice

de morfologie au arătat că suprafaţa straturilor subţiri nu este plană ci

prezintă denivelări. Structura unor astfel de straturi subţiri este formată din

granule ale căror dimensiuni regulă cresc odată cu creşterea grosimii, dar

depind de condiţiile de obţinere a stratului. De asemenea proprietăţile

straturilor depind de condiţiile de depunere, adică, natura suportului pe

care se depune stratul, temperatura suportului în timpul depunerii stratului,

mediul în care se efectuează depunerea, tipul de depunere şi nu în ultimul

rând, în cazul tehnicii depunerii din soluţie, de tipul solventului folosit,

viteza de rotaţie a suportului şi densitatea soluţiei. Principalele metode de

obţinere a straturilor subţiri şi implicit de confecţionare a dispozitivelor

optoelectronice de tipul OFET şi OLED sunt:

- Evaporare termică în vid;

- Pulverizare catodică;

- Depunere din soluţie;

- Tragere din lichide,

- Imprimare din soluţie (inkjet):

Vom analiza în cele ce urmează unele din aceste tipuri de depunere

utilizate experimental cu rezultate proprii ca şi contribuţii personale.

Page 15: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

15

2.2. Evaporare termică în vid a materialelor organice

Prin evaporare termică în vid se obţin straturi de grosime uniformă,

aderente la suport, cu structura dorită în funcţie de structura materialului

evaporat. Schema unei instalaţii pentru obţinerea straturilor subţiri prin

această metodă este prezentată în figura 6. Instalaţia se asează într-o

incintă de sticlă, protejată cu grilaj metalic, în care se realizează vacuum

înaintat. Substanţa care trebuie depusă se introduce într-un creuzet care

poate fi încălzit cu ajutorul unei rezistenţe electrice, de regulă o spirală de

wolfram sau tantal. Suportul pe care se depune stratul, care poate fi siliciu,

sticlă, cuarţ sau mica, este aşezat deasupra evaporatorului şi poate fi de

asemenea înclăzit cu o rezistenţă electrică. Temperatura suportului în

timpul depunerii stratului se determină cu ajutorul unei termocuple.

Încălzind creuzetul, substanţa se evaporă depunându-se pe suport.

Distanţa evaporator- suport poate fi modificată. Între evaporator şi

suport se aşează un ecran care poate fi angrenat ce permite ca

depunerea să înceapă sau să fie întreruptă după necesitate. Metoda

utilizată pentru substanţe care se evaporă fără însă a se descompune. Ea

a fost utilizată pentru obţinerea de straturi a unui număr mare de compuşi

organici şi metalici.

Figura 5. Reprezntarea schematică a instalaţiei de depunere utilizată

experimental

Page 16: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

16

Multe substanţe organice semiconductoare se descompun înainte de

a se evapora, astfel încât metoda descrisă mai sus nu poate fi utilizată. În

acest caz este indicat să se obţină straturi prin depunere din soluţie. În

acest caz substanţele sunt dizolvate într-un solvent după care sun strat

din soluţie se aşează pe suport. Straturile subţiri depuse prin evaporare

termică în vid pe suport neîncălzit şi cele depuse din soluţie au o structură

instabilă şi proprietăţi care uneori sunt nereproductibile. În urma unui

tratament termic care constă în câteva încălziri şi răciri succesive sau

menţinerea stratului la un anumit timp la o anumită temperatură, structura

stratului se stabilizează şi caracteristicile devin reproductibile. Pentru ca

pe baza datelor obţinute prin studiul straturilor subţiri să se obţină

informaţii referitoare la caracteristicile de volum ale materialului este

necesar să fie îndeplinite următoarele cerinţe:

- Contactele folosite la măsurătorile electrice trebuie să fie ohmice

- Grosimea stratului trebuie să fie mare pentru ca liberul parcurs

mediu al purtătorilor să fie acelaşi în strat şi în materialul masiv

respectiv

- Stratul trebuie să fie compact şi omogen.

La suprafaţa stratului pe o anumită porţiune din grosime, apare un

strat de sarcini superficiale care influenţează mult rezultatele

măsurătorilor, mai ales în cazul straturilor cu grosimi mici. Grosimea

straturilor se determină de regulă prin metode interferenţiale.

Prin această metodă sunt realizate şi contactele ohmice necesare

examinării proprietăţilor electrice ale semiconductorilor organici.

Realitazea contactelor la acest tip de materiale constituie o problemă

dificilă atât teoretică cât şi practică. Ataşarea contactelor la un eşantion

semiconductor permite conectarea lui într-o schemă electrică. Contactele

sunt confecţionate de regulă din metale cum ar fi Au, Ag, Pt, Pb, Al sau

Sn. Rezistenţa de contact dintre metalul respectiv şi semiconductor

trebuie să fie suficient de mică şi neredresoare. Contactul dintre electrod

şi materialul organic are proprietăţi de redresare când intensitatea

Page 17: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

17

curentului depinde nu numai de valoarea, dar şi de sensul tensiunii

aplicate. În acest caz intensitatea curentului nu se supune legii lui Ohm.

La încălzire sau iluminare proprietăţile contactelor se pot modifica şi

trebuie să ţină seama de aceasta. În cazul utilizării unor eşantioane sub

forma unor cilindri sau plăcuţe, electrozii se obţin de obicei prin depunerea

unui strat metalic obţinut prin evaporare termică în vid sau pulverizare

catodică, pe feţele opuse ale eşantionului aşa cum se poate observa în

figura 6.

Figura 6. Structuri organice pregatite pentru investigaţii electrice

reprezentare schematică

Pe electrozii astfel depuşi se presează de regulă elementele de

măsură, adică alţi electrozi metalici care sunt atasate aparaturii de

laborator. Electrozii pot fi amplasaţi în mod stratificat (sandviş) sau

superficial (la suprafaţă). În structurile sandviş un electrod metalic este

depus pe suport înainte de depunerea stratului organic, după care se

depune semiconductorul iar apoi un alt electrod. Când se studiază

proprietăţile optice ale materialelor sau în construcţia OLED-urilor

electrozii trebuie să fie transparenţi, iar în cazul măsurătorilor efectuate

s-au utilizat structuri prefabricate direct de producător, efectuate din ITO

cu o grosime variabilă, cuprinsă între 100 şi 200 nm.

Page 18: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

18

Figura 7. Structuri de electrozi obţinuţi prin evaporare termică în laborator şi

utilizate în experimentele proprii cu dimensiuni ale canalului de transport (10, 20, 40 μm)

Pentru a evita impurificarea, introducerea dirijată a unor impurităţi

în materialele semiconductoare organice care să schimbe proprietăţile

acestuia se urmăreşte realizarea unei impurificări controlate adică, fie

realizarea unei concentraţii uniforme a impurităţilor în întreg volumul

materialului, fie realizarea unui gradient de concentraţie.

Există însă mai multe metode de impurificare controlată cum ar fi

cele fizice (încălziri sau iluminări locale, depuneri prin evaporare), metode

de topire şi solidificare adică impurităţile se introduc în materialul topit, sau

metode de difuzie. Impurificarea controlată este foarte puţin studiată în

cazul semiconductorilor organici. Mai mulţi cercetători au stabilit spre

exemplu că împurificarea cristalelor de antracen cu mici cantităţi de

naftalen are ca rezultat creşterea curentului fotoelectric în timp ce spectrul

de absorţie nu se modifică. Gazele absorbite şi adsorbite influenţează

puternic conductibilitatea electrică şi fotoconductibilitatea substanţelor

organice semiconductoare. S-au efectuat studii asupra influenţei

oxigenului asupra proprietăţilor electrice şi s-a constatat că oxigenul nu

Page 19: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

19

influenţează conductibilitatea electrică a unor compuşi organici. La alte

substanţe s-a observat o creştere a conductibilităţii electrice. Gazele pot

reacţiona ca unii atomi ai moleculei substanţei studiate fapt ce determină o

modificare a proprietăţilor acestora după cum este reprezentat în figura 8.

Figura 8. Creşterea straturilor în vid – reprezentare schematică

Page 20: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

20

2.3. CONTRIBUȚII PERSONALE

2.3.1. Investigaţii microscopice ale straturilor obţinute

În timpul experimentelor efectuate au fost testate mai multe tipuri de

materiale semiconductoare organice pretabile la depunerile prin evaporare

termică în vid şi pulverizare catodică.

Imagine din timpul fabricarii straturilor depuse prin evaporare termica

Siliciul puternic dopat, oxidat termic şi uscat în atmosferă precum şi

aurul şi oxidul de siliciu, quarţul au fost folosite drept suport pentru

depunerile efectuate în cadrul cercetărilor doctorale prin evaporare

termică în vacuum înalt. Filmele subţiri ale materialelor investigate au fost

obţinute la temperatura tipică de aproximativ 180 0 C pentru pentacene şi

240 0 C pentru 6T în condiţii de vacuum, presiunea fiind de 10-6 mbar.

Temperatura stratului poate fi controlată cu o rezistenţă electrică prin

încălzire şi sistem de apă pentru răcire şi a fost monitorizată cu ajutorul

unor termocupluri Cr-Al de tip k.

Un oscilator cu cuarţ monitorizează rata de depunere. Evaporatorul

poate fi controlat ajustându-se rata de depunere în intervalul 0,1 nm/s –

0,5 nm/s. Primele investigaţii efectuate straturilor depuse au fost cele de

microscopie optică şi AFM. În cele ce urmează voi exemplifica câteva

rezultate care evidenţiază legătura dintre morfologia stratului obţinut şi

condiţiile de depunere utilizate.

Page 21: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

21

Una din instalatiile moderne de depunere in vacuum inalt -pulverizare catodica

Investigarea straturilor de pentacene cu ajutorul microscopului cu

polarizor optic şi utilizând caracterizarea AFM, arată o creştere lamelară a

cristalelor odată cu creşterea temperaturii. Aceste structuri sunt complet

absente în cazul depunerilor la temperatura camerei, ceea ce sugerează

că structurile lamelare pot fi identificate şi înainte de depuneri în starea

primară a pentacenului.

Figura 9. Imagini AFM ale filmelor de pentacene depuse în vacuum pentru

diferite grosimi (a). 38 nm se pot observa structurile lamelare (b). 25 nm nu pot fi

observate structuri lamerare

Page 22: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

22

Pentacenul utilizat în experimente este produs de către Aldrich

Chemical Corporation. La acest material, temperatura de depunere a

straturilor a fost de 88 0C, utilizând o rată de depunere de 0,1 nm/s.

Straturile obţinute au fost investigate cu ajutorul microscopiei AFM, iar

imaginile sunt ilustrate mai jos în figurile 10 şi 11.

Figura 10. Imagini AFM ale straturilor subţiri de pentacene purificat şi depus la

temperatura substratului de 88 0 C cu o rată de depunere de 0,1 nm/s. Morfologia

straturilor este constituită din dendrite cum ar fi cristale cu forme circulare.

Figura 11. Imagine AFM a straturilor subţiri cu aspect de terase .

Din nou aceste straturi subţiri sunt constituite din 2 morfologii

diferite care au fiecare structura caracteristică proprie. Dendritele cristaline

cu dimensiuni de aproximativ 5 – 10 nm în diametru care au fost

observate în imaginile de mai sus, arată o compactitate puternică a

stratului.

Page 23: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

23

Figura 12. Investigarea suprafeţei şi diferite interpretări pentru filmele obţinute în

vacuum.

Dimensiunile dendritelor cristaline pot fi strâns legate de

temperatura de depunere utilizată şi posibil, datorită ratei de evaporare. În

cazul straturilor depuse la temperaturi mai mici de 88 0C (între 80 şi 88

0C), numărul dendritelor cristaline cresc şi dimensiunea cristalelor circulare

scade. Creşterile de straturi în vacuum sunt de obicei mai performante

datorită condiţiilor de echilibru termic şi a supersaturaţiei în faza de vapori.

Un important parametru în acest context este temperatura substratului.

Referitor la acestea, limitările cinetice cum ar fi difuzibilitatea şi factorii

termodinamici (suprafaţa şi interfaţa, energiile libere) domină structura şi

morfologia straturilor.

Pe de o parte atât metalele cât şi semiconductorii nu preced

prepararea pentru o bună calitate a filmelor cu densitatea defectelor,

suficient de mică pentru aplicaţii electronice. Un bun şi optim regim cinetic

pentru depuneri este în general cel optimizat în funcţie de calitatea

stratului crescut. Alegerile de regim de creştere, cu respect pentru faza

solid-gazos şi fazele legăturilor de separaţie, determină oarecum factori

Page 24: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

24

cinetici sau termodinamici dominanţi pentru structura şi morfologia

stratului.

Metoda de depunere prin evaporare termică în vid a fost folosită şi

pentru depuneri de Teflon (PTFE) utilizat ca material dielectric în

structurile dispozitivelor optoelectronice. Straturile au fost investigate cu

AFM in modul contact. Suportul folosit a fost SiOx/Au şi Si/Au şi din acest

motiv am obţinut topografii diferite pentru dimensiuni de scanare de

ordinul of 1m, 3 m şi 10 m aşa cum poate fi observat în figurile 13 şi

14.

S-a observat că rugozitatea este diferită în funcţie de suportul

utilizat. În cazul suportului de SiOx/Au s-a constatat o rugozitate de 3 nm,

4 nm şi 9 nm în timp ce în cazul suportului de Si/Au rugozitatea măsurată

este 1nm, 1.4 nm şi 4 nm.

Figura 13. Topografie AFM pentru depuneri de PTFE pe suport SiOx/Au

Figura 14. Topografie AFM pentru depuneri de PTFE pe suport Si/Au

Structurile astfel obţinute au fost folosite mai apoi pentru alte

depuneri succesive de semiconductor organic. Ideea experimentului a fost

obţinerea unor structuri OFET în care oxidul de Siliciu utilizat ca dielectric

pe poarta dispozitivului să fie înlocuit cu PTFE. S-a urmărit de asemenea

Page 25: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

25

modul în care stratul depus de PTFE influenţează morfologia stratului

organic depus ulterior. După cum ne aşteptam rugozitatea

semiconductorului organic depus de asemenea prin evaporare termică a

respectat în oarecare măsură topografia şi a copiat rugozitatea teflonului

depus. În figura 15 se poate compara doua straturi de Pentacene depuse

pe suport de SiOx/Au/PTFE şi Si/Au/PTFE.

(a)

(b)

Figura 15. Topografie AFM pentru depuneri de Pentacene pe suport

de SiOx/Au/PTFE (a) si Pentacene pe suport de Si/Au/PTFE (b)

Analizele de rugozitate au confirmat faptul că materialul organic

depus peste straturile anterioare preia din proprietăţile acestuia după cum

poate fi observat în figura 16. Plecând de la acest aspect am realizat un

dispozitiv OFET funcţional în care ne-am folosit de orientarea mecanică a

stratului de teflon depus pentru a obţine o bună orientare a stratului

organic. Această orientare ajută transportul de sarcină de-a lungul

canalului de măsură crescând mobilitatea purtătorilor.

Page 26: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

26

Figura 16. Analiză de rugozitate a straturilor obţinute prin evaporare termică în vid

O ultimă etapă în prepararea elementelor constitutive ale

dispozitivelor optoelectronice organice este cea a depunerii electrozilor

metalici necesari efectuării măsurătorilor electrice şi testării acestor

dispozitive. Depunerile au fost realizate cu acelaşi echipament numai că în

creuzet în loc de materiale semiconductoare organice au fost puse bucăţi

de metal. În decursul experimentelor s-a încercat diferite tipuri de metal în

speranţa găsiri unui contact ohmic perfect. Cele mai intens utilizate metale

în realizarea contactelor au fost Al şi Au. Măsurătorile electrice au

concluzionat că dispozitivele cele mai bune din punct de vedere al

eficienţei s-au dovedit a fi cele cu electrozi din Au. Depunerile au fost

realitate la temperaturi de peste 600 grade Celsius în cazul electrozilor de

Al care are o temperatură de topire de 658 oC şi de peste 1000 oC în cazul

electrozilor de Au care are o temperatură de topire de 1056 oC.

Structurile astfel obţinute sunt gata pentru încercările optice şi

electrice însă mai întâi aceste sunt analizate prin microscopie optică şi

AFM în vederea identificării eventualelor defecte structurale sau

geometrice care pot influenţa rezultatul măsurătorilor sau buna funcţionare

a dispozitivului. De regulă geometria electrozilor este aleasă în funcţie de

necesitatea experimentului. Această geometrie este mai întâi desenată

Page 27: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

27

după care prin litografie sau pur şi simplu decupare, în cazul structurilor

simple, sunt create măşti metalice care se capătă funcţie de ecran în faţa

probelor semiconductoare introduse în instalaţia de depunere. În figura 17

sunt reprezentate câteva machete de mască folosite pentru depunerile de

electrozi metalici. Pentru o evidenţă strictă a dimensiunilor canalului de

măsură pe măşti se inscripţionează de regulă aceste valori.

Figura 17. Structuri de măşti utilizate în obţinerea electrozilor metalici

(varianta simplă şi o alta complexă)

Page 28: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

28

Metalizările sunt apoi investigate prin metode microscopice. În

figura 18 este reprezentată analiza microscopică a unor contacte metalice

realizate prin evaporare termică în vid.

Figura 18. Investigaţii microscopice pentru electrozi metalici

Page 29: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

29

2.3.2. Investigaţii UPS pentru straturile obţinute

Una din analizele de bază pentru straturile semiconductoare

organice obţinute a fost realizată prin spectroscopie fotoelectronică.

Această analiză oferă informaţii importante despre posibilitatea de utilizare

a materialor respective în dispozitive optoelectronice. Un raport complet

despre rezultatele obţinute cu ajutorul tehnicii UPS a fost publicat în

Physics Letters A, unde au fost analizate mai mulţi derivaţi de

pyrrolo[1,2-a][1,10]phenanthroline.

Derivaţii pyrrolo[1,2-a][1,10]phenanthroline sunt materiale

promiţătoare pentru tehnologia dispozitivelor confecţionate din straturi

subţiri [1], în special pentru construcţia dispozitivelor optoelectronice [2].

Aceste materiale sunt atractive pentru opoelectronică datorită potenţialului

lor de ionizare şi afinităţii electronice care favorizează injecţia la catod [2,

3]. De asemenea datorită structurii chimice specifice, acestea prezintă o

amplă oportunitate de tunare a orbitalilor moleculari prin introducerea

grupurilor acceptoare sau donoare care dau emisie luminoasă, transportul

electronilor sau blocarea transportului golurilor [4, 5].

Pentru a dezvolta calitatea dispozitivelor, o mare atenţie trebuie

acordată nu numai sintezei materialelor dar şi studierii structurii electronice

a acestora care ne poate furniza informaţii importante pentru a înţelege

funcţionarea dispozitivelor optoelectronice. În această raportate noi am

investigat structura valenţei electronice pentru două derivate pyrrolo[1,2-

Page 30: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

30

a][1,10]phenanthroline folosind tehnica Ultraviolet Photoelectron

Spectroscopy (UPS) [6,8].

Partea experimentală

În Fig. 19 este reprezentată structura chimică a derivaţilor

phenanthroline [9, 11].

Figura 19. Structura chimică a materialelor studiate

Sinteza materialelor este descrisă în detaliu în raportarea publicată

şi este schematizată de asemenea mai jos în schemele 1 şi 2.

N N

1. R=NO2

2. R=Cl

3. R=Br

4. R=H

5. R=CH3

Br

H2C

C O

R

N N

HC

C O

R

dipol 1,2 dipol 1,3

N N

HC

C O

R

NaOH

-NaBr

6. R=NO2

7. R=Cl

8. R=Br

9. R=H

10. R=CH3

-H2O

N N

OR2

R

R1

RA1: R= NO2, R1=R2= COOCH3

RA2: R= Cl, R1=R2= COOCH3

RA3: R= Br, R1=R2= COOCH3

RA4: R= CH3, R1=R2= COOCH3

RA5: R=Br, R1= H, R2= COOC2H5

RA6: R=R1= H, R2= COOC2H5

12

3

4'

Page 31: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

31

N NCOOCH3O

COOCH3

N N

OCOOCH3

R

COOCH3

[-2H]

N NCOOC2H5O

N N

O COOCH2CH3

R

[-2H]

8 9

11. R=NO2

12. R=Cl

13. R=Br

14. R=CH3

21. R=Br22. R=H

17. R=NO2

18. R=Cl

19. R=Br

20. R=CH3

15. R=Br16. R=H

12

3

4'

12

3

4'

6 7 810

C CH3COOC COOCH3

HC C COOCH2CH3

R

O

Măsurătorile au fost efectuate în laboratoarele BESSY (Berlin).

Grosimea straturilor a fost determinată prin metode elipsometrice,

valoarea găsită pentru probele studiate fiind de 100 nm. Pentru

măsurătorile UPS s-a folosit un monocromator toroidal cu care este dotată

linia de măsură TGM-2 şi care acoperă un interval al energiei fotonilor

începând de la 5 la 190 eV. Fotoelectronii sunt colectaţi de un

Page 32: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

32

spectrometru unghiular ADES 400 care lucrează la temperatura camerei.

Presiunea de bază utilizată în timpul experimentului a fost de 2 x 10-10

mbar. Geometria experimentului este redată în figura 20. Spectrul

fotoelectronilor a fost măsurat la un unghi de incidenţă de 45 o în emisie

normală, pentru energii incidente de 40 eV şi 50 eV.

h

Emitted

Photoelectron

|| k

k

z

x

y

k

Figura 20. Geometria experimentului UPS. α-unghiul de incidenţă; θ-unghiul de ieşire; φ-unghiul azimut; hυ-energia incidentă a fotonilor; k-vectorul undă al fotoelectronilor

emişi; k and k - componentele k, perpendiculare şi paralele cu suprafaţa probei.

Calcule teoretice

Cel mai important lucru în interpretarea datelor experimentale

obţinute îl constituie alegerea unei metoge teoretice de calcul adecvată

experimentului propus. O corespondenţă satisfăcătoare a rezultatelor

experimentale şi cele teoretice ne permite să atribuim cu acurateţe fiecare

pic maxim al spectrului obţinut, fiecărui grup de orbitali moleculari (MOs) şi

să înţelegem corespondenţa tipului de legăturil electronice (σ şi π). De

obicei, primul lucru de la care putem pleca în rezolvarea ecuaţiei lui

Schrödinger independent de timp pentru moleculele considerate [12], este

dat de stările staţionare. Al doilea pas este aproximaţia Born-

Page 33: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

33

Oppenheimer cu ajutorul căreia putem rezolva electronic ecuaţia lui

Schrödinger, în nuclee care sunt considerate poziţii fixe. În orice caz,

ecuaţia rezultată nu poate fi separată şi este imposibil să găsim soluţii

exacte pentru toate problemele care apar. Este necesar să introducem în

aceste condiţii câteva aproximaţii. În acest raport calculele au fost

realizate în mare parte respectându-se teoria Hartree-Fock (RHF) [12,

13].

Soluţiile ecuaţiei Hartree-Fock (forma canonică) ne dau orbitalii

micşorând energia sistemului. Această ecuaţie este foarte importantă

pentru calculele spectrului UPS deoarece introduc energiile de legătură

ale electronilor. Metoda Hartree-Fock asigură succesul în determinarea

valorilor şi funcţiilor moleculare. Pentru marea parte a sistemelor, este mai

convenabil să nu lucrăm cu un simplu set de calcule ab-initio Hartree-

Fock, ci mai degrabă cu metode teoretice aproximative. Din acest motiv în

experimental nostru am folosit aproximaţia AM1 [14]. Această metodă are

câteva avantaje, de exemplu se potriveşte cu proprietăţile de legăturtă ale

hidrogenului, oferă predicţii reale referitoare la activarea barierelor pentru

multe reacţii şi determină cu succes stările energetice ale moleculelor în

compuşii cu masa moleculară mica şi a polimerilor (până la câteva sute de

atomi). În calculele efectuate de noi ne-am axat în determinarea

geometriei de echilibru, de exemplu micşorarea energiei totale a

sistemului în raport cu poziţiile nucleilor (aceasta este corelată direct de

aproximaţia Born-Oppenheimer. În calculele ab initio Hartree-Fock

funcţiile de bază sunt alese de forma Gaussiene, care ne dau

oportunitatea să calculăm analitic deviratele introduse (derivatele energiei

totale a suprafeţei faţă de geometria sistemului). Există diferite metode

dezvoltate pentru calculul acestor derivate şi ele sunt disponibile în câteva

pachete de programe de calcul din comerţ. În acest raport noi am folosit

pachetul HyperChem versiunea 5.1 [15]. Calculele energiei stărilor unei

singure molecule izolate situate în vid a fost punctual de plecare supă care

am introdus în simulare datele spectrului UPS obţinut pentru filmele

investigate. Calculele au fost efectuate pentru sisteme neutre, fără sarcini.

Page 34: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

34

Stări energetice minime pentru a obţine multiplicitatea de spin cu metoda

RHF. Odată completate simulările, am obţinut un set complet al stărilor

energetice moleculare [16, 17]. De la superpoziţia multiplilor Gausieni, al

fiecărui orbital molecular, am obţinut spectrul benzii de valenţe teoretic.

De asemenea cu metoda dată de formalismul Hartree-Focks am

realizat contracţia totală a benzii de valenţă deoarece aceaste rezultate

prevăd în final estimarea totală a lăţimii benţii de valenţă [15].

Rezultate şi discuţii

Figurile 21 şi 22 arată spectrele UPS ale compuşilor RA1 şi RA2

precum şi simulările matematice pentru diferite energii incidente ale

fotonilor. În timpul experimentului nu au fost observate efecte de

încărcare. Rezultatele teoretice au fost obţinute prin calcul semi-empiric

quantum-chemical folosind metoda AM1 (Gaussian). Calculele au fost

realizate luând în calcul o singură moleculă care furnizează un set complet

de stări intermediare moleculare [12, 13]. Toate valorile energiilor au fost

considerate ţinând cont de nivelul Fermi (E0), care a fost setat la zero.

Figura 21.Spectrul de valenţă UPS al compuşilor RA1 (a) şi RA2 (b) la 50 eV energia fotonilor incidenta. Experimental- symbol line; simulare spectra-full line.

40 35 30 25 20 15 10 5 00.0

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0.8

0.9

1.0

(b)

5.60 eV

7.05 eV

8.82 eV

10.98 eV

13.62 eV

18.30 eV

hinc

= 50 eV

RA2

Inte

nsity (

a.u

.)

Binding Energy (eV)40 35 30 25 20 15 10 5 0

0.0

0.5

1.0

1.5

2.0

2.5

3.0

3.5

4.0

4.5

5.0

(a)

2.11 eV

7.36 eV

11.28 eV

23.31 eV

hinc

=50 eV

RA1

Inte

nsity (

a.u

.)

Binding Energy (eV)

Page 35: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

35

Figura 22.Spectrul de valenţă UPS al compuşilor RA1 (a) şi RA2 (b) la 40 eV energia fotonilor incidenta. Experimental- symbol line; simulare spectra-full line

Pentru experimental nostru Fig. 21 indică energia incidentă a

fotonilor la 50 eV, în timp ce Fig. 22, prezintă o excitaţie la o energie de

40 eV. Offsetul vertical a fost utilizat pentru claritatea măsurătorilor. S-a

obţinut un bun agreement între rezultatele experimentale şi cele teoretice,

şi fiecare UPS peak este specific contribuţiei fiecărui grup distinct de

orbitrali moleculari [14].

Pentru ambii compuşi, picurile cu energia cea mai mica sunt date în

principal de nivelele HOMO iar această emisie este produsă în principal

de orbitalii . În cazul energiei incidente de 50 eV (Fig. 21), primul pic are

on-setul la 2.11 eV pentru compusul RA1 şi la 5.60 eV pentru RA2, în

timp ce la energia de exitaţie de 40 eV (Fig. 22) valorile respective sunt

1.85 eV (RA1) şi 0.97 eV (RA2). Al doilea pic este dat deja de

combinarea stărilor - şi - . Alte picuri sunt legate de două sau trei centre

ale stărilor . Aşa cum se poate observa din Figurile 21 şi 22, poziţiile

energiei HOMO şi a stărilor apropiate nu schimbă practic compuşii

examinaţi, condiţii în care putem presupune că acolo nu avem niciun

defazaj a dimensiunilor moleculare [11].

Pentru început, este important să menţionăm că ambii compuşi,

atunci când creştem energia de excitare de la 40 la 50 eV, densitatea

20 15 10 5 00.0

0.2

0.4

0.6

0.8

1.0

(a)

1.85 eV

9.66 eV

6.60 eV

2.95 eV

RA1

hinc

=40 eV

Inte

nsity (

a.u

.)

Binding Energy (eV)

15 10 5 00.0

0.2

0.4

0.6

0.8

1.0

1.2

(b)0.97 eV

10.72 eV

8.72 eV

5.55 eV

3.80 eV

1.85 eV

RA2

hinc

=40 eV

Inte

nsity (

a.u

.)

Binding Energy (eV)

Page 36: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

36

fasciculului de electroni este foarte consolidată. Aceasta este data de

creşterea probabilităţii de interacţiune dintre molecularii electronici şifotonii

din orbitalii îndepărtaţi. În cazul compusului RA1(R=NO2), la 50 eV-

excitaţia electronilor faţă de ortbitalii excitaţi înainte la 40 eV sunt de

asemenea emisivi dar ultimii sunt ocupaţi de electroni emisivi de pe

orbitalii îndepărtaţi. În acest fel la 50 eV, nivelele 2.90 eV şi 9.66 eV sunt

slab evidenţiaţi (Fig. 21). Pe de altă parte, un prag pare să se fi format la

11.30 eV, pentru 40 eV (Fig. 22). Energia orbitalilor localizaţi la 2.90 eV

este cea mai mare, și aceasta face la limita de lungime de undă lungă a

benzii de absorbție. Din cauza suprapunerii între benzile de la 5.00 eV,

9.66 eV și 6.60 eV, precum și a fundalului electronice din cei mai

îndepărtaţi orbitali (cu 23.31 eV), la 50 eV energie incidentă, se observă o

bandă destul de largă, cu maxim la 7.36 eV. Nivelele 2.90 eV, 5.00 eV,

6.60 eV, 9.66 eV şi 11.30 eV sunt evidenţiate clar pentru energia incidentă

de 40 eV (Fig. 22), în contrast cu spectrul obţinut la 50 eV (Fig. 21).

Nivelul înregistrat la 23.31 eV nu este însă prezent şi în cazul energiei de

excitaţie de 40eV [16, 18]. .

În cazul compusului RA2 (R=Cl), din aceleaşi motive deja enunţate,

nivelele de la 1.85 eV, 3.80 eV şi 5.55 eV nu sunt observate. În schimb

nivelul evidenţiat la 7.05 eV (Fig. 21), este neglijabil la 40 eV (Fig. 22).

Caracteristicile banzii legaturilor de Cl sunt prezente la 8.72 eV şi

10.72 eV (10.98 eV, in Fig. 21), şi mai sunt localizate foarte slab la 12.90

eV. Creşterea densităţii de current care este observată la energii de

excitare mai mari de 15 eV (Fig. 21) este data de orbitalii îndepărtaţi [19,

20]. Compararea rezultatelor obţinute pentru compuşii RA1 şi RA2 poate

fi analizată în tabelul 1. Putem concluziona ca substituienţii R (NO2 şi Cl)

joacă un rol important în schimbul orbitalilor moleculari pornind de la

nivelul cel mai înalt ocupat de electroni şi până la energii de 25 eV, după

cum se poate vedea şi din figura 23.

Page 37: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

37

Figura 23. Diagrama energetică pentru compusul RA1

Tabelul 1 Compararea rezultatelor obţinute

Concluzii

Măsurătorile UPS ale celor două tipuri de derivaţi pyrrolo[1,2-

a][1,10]phenanthroline au fost realizate pentru a obţine informaţii detaliate

despre structura benzii electronice de valenţă şi să investigăm

aplicabilitatea acestor compuşi în construcţia de dispozitivelor

optoelectronice. În urma măsurătorilor s-a obţinut o bună corelaţie între

calculele teoretice şi spectrele electronice dobândite experimental.

Substituienţii R (NO2 şi Cl) influenţează decisiv structura benzii electronice

la compuşii examinaţi pentru energii electronice mai mici de 25 eV.

Page 38: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

38

Referinţe bibliografice

[1] L. Leontie, I. Druta, R. Danac, and G.I. Rusu, Synth. Met. 155/1 (2005) 138.

[2] M. Prelipceanu, L. Leontie, R. Danac, O.S. Prelipceanu, Romanian Conference on

Advanced Materials, Sept. 11-14th, 2006, Bucharest-Magurele, Romania, Proc. p. 68.

[3] S. Schrader, P. Imperia, N. Koch, G. Leising and B. Falk, Proc. SPIE 3797 (1999) 209.

[4] J. Bettenhausen, M. Greczmiel, M. Jandke, P. Strohriegl, Synth. Met. 91 (1997) 223.

[5] M.S.Weaver, D.G. Lidzey, T.A. Fisher, M.A. Pate, D.O. Brien, A. Bleyer, A. Tajbakhsh,

D.D.C. Bradley, M.S. Skolnick and G. Hill, Thin Solid Films 273 (1996) 39.

[6] I. Zugravescu, M. Petrovanu, 3+2 Dipolar Cycloaddition, Rom. Acad. Publ. House,

Bucharest (1987) (in Romanian).

[7] I. Druta, M. Andrei, P. Aburel, Tetrahedron 54 (1998) 2107.

[8] I. Druta, R. Dinica, E. Bacu, I. Humelnicu, Tetrahedron 54 (1998) 10811.

[9] R. Dinica, I. Druta, C. Pettinari, Synlett. 7 (2000) 1013.

[10] R. Danac, A. Rotaru, G. Drochioiu and I. Druta, J. Heteroc. Chem. 40 (2003) 283.

[11] I. Druta, R. Danac, R. Barbieru, D. Tapu, M. Andrei, Sci. Ann. Al. I. Cuza Univ. Iasi,

S. Chem. IX, (2001) 149.

[12] S. Schrader, P. Imperia, N. Koch, G. Leising and B. Falk, Proc. SPIE 3797 (1999)

209.

[13] G. Grem, G. Leditzky, B. Ullrich and G. Leising, Adv. Mater. 4 (1992) 36

[14] M.Casu, P. Imperia, S. Schrader, B. Schulz, M. Jandke, P. Strohriegl, Synth. Met.

121 (2001) 1397.

[15] J. C. Slater, Quantum Theory of Matter (McGraw-Hill, New York, 1951).

[16] S. Gasiorowicz, Quantum Physics (Wiley, New York, 1974).

[17] J. A. Pople and D. L. Beverige, Approximate Molecular Orbital Theory (McGraw-Hill,

New York, 1970).

[18] M. J. S. Dewar and H. S. Rzepa, J. Am. Chem. Soc. 99, 7432 (1977).

[19] M. J. S. Dewar, E. G. Zoebisch, E. F. Healy, and J. J. P. Stewart, J. Am. Chem. Soc.

107, 3902 (1985).

[20] HyperChem,Computational Chemistry (Hypercube, Inc., 1996).

Page 39: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

39

Pe lângă această raportare publicată, au fost efectuate de

asemenea măsurători UPS şi pentru alte material semiconductoare

organice. Rezultate semnificative au fost obţinute pentru TPQ – 1,3,5 Tris

[(3-phenyl –6-trifluoromethyl)-quinoxaline-2-yl]benzene.

Figura 24 .Structura chimică pentru compusul TPQ

Filmele au fost realizate prin evaporare termică în vid pe substrat de Al

de grosime de 200 nm. Parametrii de depunere folosiţi au fost: presiune 2

x 10-7 , temperatura evaporatorului a fost de 200 oC , rata de depunere a

fost de 5 A/ s iar distanţa dintre evaporator şi suport a fost de 25 cm.

TPQ

Al

SiO2

Si

Figura 25. Structura schematică a probelor utilizate în experimental UPS

Spectrul UPS obţinut este reprezentat în figura 26 şi a fost obţinut

folosind 3000 eV ca şi energie a fotonilor incidenţi. Putem concluziona că

în timpul experimentului nu au fost observate fenomene de încărcare iar

probele au avut dimensiunea de 1x1 cm şi 150 nm grosime a stratului de

TPQ. În primă fază s-a constatat microscopic că stratul de semiconductor

Page 40: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

40

organic are o structură amorfă. Suprafața probelor a fost distrusă în timpul

experimentului.

-2500 -2000 -1500 -1000 -500 0

-1000

0

1000

2000

3000

4000

5000

6000

7000

8000

9000

10000

11000

12000

13000

14000

15000

16000

17000

Inte

nsity a

.u.

K E (eV)

Figura 26. Spectul UPS pentru TPQ la 3000 eV energia fotonilor

Principalele maxime au apărut la energia cinetică de circa 2934,

2878, 2872, 2713, 2469, 1601,1442, 1393, 1331 şi 1154 eV şi ele au fost

identificate în următoarele figuri (figura 27).

-400 -200 0

0

Kinetic energy (eV)

Inte

nsity a

.u.

Al 2p

Al 2s

Al loss

C-OR

Page 41: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

41

-280 -240

0

700

1400

-532,55

-285,8

-133,55

-117,95

-72,8

-78,35

Kinetic energy (eV)

Inte

nsity a

.u.

C 1s

Figura 27. Identificarea grupurilor corespunzătoare maximelor spectrale

În concluzie în banda de valență, figura 28, au apărut cinci maxime,

toate datorându-se nivelelor HOMO și cuplurilor dintre atomi sau molecule

și diferite grupuri chimice. Filmul de TPQ a fost format din insule de circa

~50 Å înălțime care au acoperit ~ 60 % din suprafață. S-a mai observant

că maximul pic a fost obținut la 1600 eV și se datorează emisiei nivelului

1s al electrodului de Al.

-35 -30 -25 -20 -15 -10 -5 0 5

0

500

1000

1500

2000

2500

-2500 -2000 -1500 -1000 -500 0

-1000

0

1000

2000

3000

4000

5000

6000

7000

8000

9000

10000

11000

12000

13000

14000

15000

16000

17000

Inte

nsity

a.u

.

Kinetic Energy (eV)Inte

nsity a

.u.

Binding Energy (eV)

F 2s

C 2s H1s

Figura 28. Spectrul electronic de valență pentru TPQ măsurat la un unghi de incidență de 45 de grade și emisie normală

Page 42: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

42

2.4. Depunerea straturilor organice prin dispersie “spin coating”

Tehnica dispersiei din soluție sau “spin-coating” a fost folosită de-a

lungul mai multor decenii pentru diferite aplicaţii ale straturilor subţiri. Un

proces tipic implică depunerea unei cantităţi mici dintr-un fluid în centrul

substratului şi apoi rotirea stratului la viteză mare (de regulă 3000 rpm).

Figura 29. Paşii procesului de depunere prin “spin coating”

Acceleraţia centripetă va produce împrăştierea lichidului, care

eventual va depăşi marginea substratului, lăsând un strat subţire de lichid

pe suprafaţă. Grosimea finală a stratului precum şi proprietăţile acestuia

vor depinde de natura substanţei, viscozitate, rata de uscare, tensiunea de

suprafaţă, etc. şi parametrii aleşi pentru procesul de „spining” (vezi figura

29). Factorii cum ar fi viteza rotaţională finală, acceleraţia contribuie la

definirea proprietăţilor straturilor depuse. Unul dintre cei mai importanţi

factori în spin coating este repetabilitatea. Variaţii ale parametrilor pot

influenţa negativ procesul de spin, rezultând variaţii drastice în stratul

depus. În continuare voi prezenta câteva detalii privind efectele acestor

variaţii. Un proces tipic de spin (figura 30) este constituit dintr-un pas de

dispersie în care fluidul dens este depozitat pe suprafaţa substratului, un

alt pas este mărirea vitezei pentru subţierea stratului de fluid şi un ultim

pas reprezintă uscarea pentru eliminarea excesului de solvent, în final

obţinându-se stratul. Unele dintre cele mai cunoscute metode de dispersie

sunt dispersia statică şi dispersia dinamică.

Page 43: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

43

Figura 30. Procesul de dispersie a lichidelor reprezentat schematic.

Dispersia statică reprezintă simpla depunere a unei cantităţi foarte

mici de fluid în centrul sau în apropiere de centrul substratului. Aceasta

poate fi în intervalul 1 – 10 mm şi depinde de viscozitatea fluidului şi de

dimensiunea substratului. Viscozitatea mare şi/sau suprafaţa mare

necesită o cantitate mai mare de fluid pentru a acoperi întreaga suprafaţă

a substratului în timpul pasului de depunere cu viteză mare. Dispersia

dinamică este procesul de dispersie în care substratul este rotit cu viteză

mică. O viteză de aproximativ 500 rpm este folosită de obicei în timpul

acestui pas a procesului. Aceasta serveşte pentru a împrăştia fluidul pe

substrat şi poate rezulta cu pierderi mici de material dens - surplusul după

ce întreaga suprafaţă este acoperită cu material. Aceasta reprezintă o

metodă avantajoasă, când fluidul sau însuşi substratul are abilităţi mici de

a umezi şi poate elimina neomogenităţile care s-ar forma în caz contrar.

După pasul de dispersie, este comună etapa de mărire a vitezei, până la

obţinerea unui strat de grosimea dorită. Viteza obişnuită de depunere

pentru acest pas este 1500 – 6000 rpm, însă depinde de proprietăţile

fluidului şi substratului. Acest pas poate dura între 10 secunde şi câteva

minute. Combinaţia între viteza de depunere şi timpul selectat pentru

această etapă defineşte de regulă grosimea finală a stratului. În general,

viteza de depunere mare şi timpii de depunere mari determină straturi

subţiri. Procesul de „spin-coating“ implică un număr mare de variabile

Page 44: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

44

care se pot anula sau compensa reciproc în timpul procesului de

depunere şi cel mai bine este să se acorde suficient timp optimizării

procesului. Uneori este necesară introducerea unei etape suplimentare –

uscarea – pentru creşterea stabilităţii fizice a stratului înainte de

manipulare. Fără etapa de uscare pot apărea probleme în momentul

scoaterii stratului din incinta de depunere. În acest caz, o viteză de

depunere de aproximativ 25% din viteza mare de depunere va fi suficientă

pentru a ajuta la uscarea stratului, fără a avea modificări semnificative în

grosimea substratului [1-5].

Figura 31. Funcţionarea forţelor aplicate în spin coating

Viteza de depunere este unul dintre cei mai importanţi factori ai

procesului de “spin coating”. Viteza substratului (rpm) afectează unghiul

forţei centrifuge aplicată lichidului, precum şi viteza şi turbulenţa

caracteristică a aerului din imediata apropiere. În particular, viteza mare

de depunere din această etapă defineşte grosimea finală a stratului.

Variaţii relativ mici, de ±50 rpm, în această etapă pot cauza schimbarea

drastică a grosimii stratului de până la 10%. Grosimea stratului este un

echilibru între forţele aplicate (vezi figura 31) pentru a împrăştia fluidul

vâscos către marginea substratului şi rata de uscare, care este afectată la

rândul ei de către fluidului. La uscare fluidului, viscozitatea creşte până

când forţa centrifugă a procesului de depunere nu mai poate muta fluidul

de pe suprafaţă. La acest punct, grosimea filmului nu va descreşte

semnificativ cu creşterea timpului de depunere.

Page 45: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

45

Figura 32. Corelaţia timp-acceleraţie în procesul de spin coating

Acceleraţia substratului, ilustrată în figura 32, către viteza finală de

depunere poate de asemenea afecta proprietăţile stratului depus. Încă din

momentul în care fluidul începe să se usuce, în timpul primei părţi a

ciclului de depunere, este important să se controleze exact accelerarea. În

unele procese, 50% dintre solvenţii din fluide se vor pierde prin evaporare

în primele câteva secunde ale procesului. Acceleraţia joacă un rol

important în proprietăţile stratului depus mai ales atunci când se doreşte

obţinerea unor straturi de anumite dimensiuni. În cele mai multe dintre

cazuri, substratul va păstra caracteristicile topografice de la procesele

anterioare; de aceea este foarte importantă uniformizarea densităţii

fluidului şi menţinerea acesteia constantă. Rata de uscare a fluidului dens

în timpul procesului de depunere este definită de însăşi natura fluidului

(volatilitatea solventului folosit), precum şi de aerul din jurul substratului în

timpul depunerii. Chiar în condiţii de umiditate, stratul se va usca mai

repede atât timp cat aerul umed este antrenat, faţă de atmosfera umedă

unde uscarea filmului depinde de condiţiile mediului înconjurător. Este

bine cunoscut că anumiţi factori precum temperatura aerului şi umiditatea,

joacă un rol important în determinarea proprietăţilor stratului depus. De

asemenea este foarte important ca circulaţia aerului şi turbulenţele

asociate să fie minimizate sau cel puţin menţinute reduse, în timpul

Page 46: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

46

procesului. Dacă incinta nu este închisă etanş, capacul de evacuare

permite doar o evacuare minimă în timpul procesului de depunere. Se

observă două avantaje ale acestui sistem:

Uscarea lentă a fluidului dens.

Minima influenţă a variaţiilor de umiditate a mediului

ambiant.

Rata mică de uscare oferă avantajul creşterii uniforme a grosimii

de-a lungul substratului. În timpul procesului de spin coating pot apărea

neuniformităţi datorate schimbării viscozităţii fluidului în funcţie de distanţa

de la centru la marginea substratului. La o rată scăzută de uscare, este

posibil ca viscozitatea să rămână constantă de-a lungul substratului. Rata

de uscare şi în final grosimea stratului poate fi afectată de umiditatea

mediului. Variaţii de câteva procente de umiditate pot produce mari

schimbări în grosimea filmului. Datorită rotaţiei, în interiorul incintei de

lucru vaporii solvenţilor utilizaţi sunt reţinuţi de mediul din incintă şi pot

afecta umiditatea. La sfârşitul procesului, când incinta este deschisă, tot

conţinutul de vapori va fi evacuat. Un alt avantaj al incintei închise este

reducerea sensibilă a variaţiilor mişcărilor de aer în jurul stratului depus.

Într-o cameră specială, cu atmosferă controlată (clean room), fluctuaţiile

de aer sunt constante (aproximativ 30 m/min). Variaţiile factorilor

afectează proprietăţile locale ale mişcărilor de aer. Schimbări minore ale

naturii mediului înconjurător pot determina apariţia alternanţelor în

fluctuaţiile de aer. Prin acoperirea incintei cu capace cu suprafaţa perfect

netedă, variaţiile şi turbulenţele cauzate de prezenţa operatorilor şi altor

echipamente sunt eliminate din procesele de spin coating [6]. Figura 33

ilustrează câteva tendinţe generale pentru variaţia câtorva parametrii.

Pentru cele mai multe dintre substanţele folosite, grosimea finală a

straturilor va fi invers proporţională cu viteza şi timpul de depunere.

Grosimea finală – vezi figura 35 – va fi oarecum proporţională cu volumul

evacuat, deşi uniformitatea poate suferi dacă evacuările de aer sunt prea

Page 47: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

47

mari, datorită turbulenţelor, cauzând neuniformităţi în uscarea filmului. În

imaginile AFM din figura 34 se prezintă clar acest lucru.

Figura 33. Influiența variației parametrilor în procesul de spin coating

Figura 34. Dependenţa grosimii stratului obţinut în spin coating şi investigarea AFM a

filmelor obţinute.

Page 48: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

48

Figura 35. Investigarea computerizată a imaginilor AFM

În figura 35 sunt arătate investigaţiile efectuate cu ajutorul

calculatorului ale imaginilor AFM (din figura 34) pentru straturile depuse

prin spin coating.

Cu aceste investigații pot fi observate diferite caracteristici ale filmului

cum ar fi :

grosimea stratului;

structura stratului;

dimensiunile profilului.

Page 49: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

49

2.4.1. CONTRIBUȚII PERSONALE

Proprietățile electrice pentru câțiva semiconductori organici în straturi subțiri pretabili

în construcția termistorilor

În acest raport științific am investigat dependența de temperatură a

conductivitîții electrice în curent continuu și coeficientul Seebeck, S, pentru

șapte materiale noi compuși 1-(p-R-benzoyl)-1,2,3,3a-tetrahydropyrrolo-

[1,2-a][1,10]-phenanthrolin-2,3-(N-R)-dicarboximide. Straturile subțiri (d =

0.09–0.94 microni) au fost depuse prin spin coating din soluție de

dimethylformamide, și prin tehnica imersiei pe subtstrat de sticlă. Au fost

efectuate analize prin difracție X-ray (XRD) pentru a investiga structura

cristalină a filmelor obținute, apoi prin coroborarea cu analizele AFM și ale

microscopiei optice am examinat morfologia suprafețelor [7–12].

Caracteristicele obținute pentru σ și S în funcție de temperatură

sunt tipice pentru materialele semiconductoare policristaline de tip n [13-

15]. Energia de activare a conducției electrice este în palierul 1.21–1.82

eV, în timp ce rata de schimb a mobilității sarcinilor este cuprinsă între

1.05 și 1.15. Au fost stabilite de asemenea câteva corelații între

proprietățile semiconductoare și structura moleculară [16]. Modelul bazat

pe adâncimea benzilor poate fi utilizat pentru explicația transportului

electronic a compușilor investigați [17].

Page 50: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

50

În figura 36 este reprezentată schema chimică a compușilor

investigați, cu substituienții respective marcați în pozițiile de referință.

Figura 36. Structura chimica a compușilor analizați

Dependența de temperatură a conductivitîții electrice și coeficientul

Seebeck au fost măsurate folosind cellule de suprafețe tipice [29,31].

Straturile de Indium și argint de grosime circa 1 micrometru, au fost

obținute prin evaporare termică în vid, iar înainte de depunerea

materialelor organice au fost depuși electrozii, pentru a avea un bun

contact ohmic între electrod și materialul organic. În toate experimentele

de transport de sarcină, câmpul electric aplicat a fost slab cu o intensitate

sub 100 de Vcm-1, ceea ce a dus la absența efectelor non ohmice.

Sistemul experimental folosit a fost similar cu cel descris în referința [29–

31]. Grosimea filmelor a fost măsurată cu ajutorul microscopului

interferential MII-4, observându-se o grosime cuprinsă între 0.09 și 0.94

micrometri. Investigațiile de structură pentru filmele organice au fost

efectuate cu ajutorul metodei de difracției de raze X (XRD), folisind un

difractometru DRON-2 (radiație Co Kα). Morfologia suprafețelor organice

a fost realizată cu microscopul de forță atomică. Coeficientul Seebeck, S,

a fost măsurat utilizând electrozi sondă [39,40]. Valorile au fost

determinate plecând de la relația:

Page 51: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

51

Unde este diferența de temperatura dintre electrozi (10-12K)

și Vs, este voltajul Seebeck măsurat cu un electrometru KEITHLEY

6517A.

Rezultate și discuții

Primele informații relevante au fost obținute din investigațiile de

structură a straturilor organice care prezintă o compoziție mixtă

preponderent policristalină cu insule amorfe. Structura probelor este

condiționată de natura compușilor și de grosimea filmelor obținute. În

figura 37 este reprezentată morfologia AFM de suprafață a probelor

investigate.

Figura 37. Morfologia AFM a probelor investigate

Studiile efectuate de noi legate de transferul electronic pentru un număr

important de compuși organici a stabilit că tratamentul termic aplicat

compușilor utilizat pentru prepararea filmelor duce la obținerea de

structure stabile și reproductibile din punct de vedere al proprietăților

electrice [29–35]. Valorile experimentale obținute pentru diferite cicluri de

tratament termic sunt date în tabelul de mai jos.

Page 52: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

52

S-au obținut informații valoroase asupra mecanismului conducției electrice

[29–35] studiind conductivitatea electrică pentru filmele organice în timpul

tratamentelor termice.

Figura 38 reprezintă valorile experimentale ale dependenței pentru

două probe examinate supuse la trei cicluri de încălzire și racire într-un

interval de temperature dat.

Figura 38. Dependența conductivității electrice de temperatură pentru compusul F1

(stânga) și dependența evoluția conductivității pentru toata seria de conpuși (dreapta)

În intervalul de temperatură cuprins între 300 și 460 K, coeficientul

Seebeck (figura 39) este negativ pentru toți compușii investigați. Este bine

cunoscut faptul că polaritatea voltajului Seebeck depinde de semnul

respectivelor sarcini încărcate [39–40]. Experimentele au arătat că,

compușii examinați, ca și filme, pot fi considerați semiconductori de tip n

întrucât majoritatea purtătorilor de sarcină sunt electroni. În aceeași figură

Page 53: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

53

se mai poate observa că în domeniile de conducție intrinseci, coeficientul

Seebeck scade odată cu creșterea temperaturii.

Figura 39. Dependența de temperatură a coeficientului Seebeck

Concluzii

Compușii organici studiați pot fi utilizați ca potențiale materiale

pentru construirea termistorilor. Acest dispozitiv este folosit frecvent în

măsurători de temperatură și radiație [45]. Principiul de funcționare se

bazează pe dependența rezistenței electrice a materialului semiconductor

în domeniile de conducție intrinseci. În tabelul de mai jos sunt

concluzionate caracteristicile parametrilor termistorilor realizați din

compușii organici supuși investigațiilor

Page 54: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

54

În concluzie am stabilit că materialele studiate au caracteristici

tipice semiconductorilor de tip n. Transferul electronic al compușilor este

puternic dependent de structural or moleculară și de modalitatea specifică

de împachetare a moleculelor în straturile subțiri. Compușii investigați sunt

materiale promițătoare pentru construcția termistorilor organici

Referințele raportului publicat în POC 54 (175-184) [1] J.P. Farges, Organic Conductors, Marcel Dekker, 270 Avenue, New York, 1994. [2] T.A. Skotheim, R.L. Elsenbaumer, J.R. Reynolds, Handbook of Conducting Polymers, Marcel Dekker, New York, 1998. [3] M.C. Petty, M.R. Bryce, D. Bloor, An Introduction to Molecular Electronics, Edward Arnold, London, 1995. [4] J.L. Br´edas, R.R. Chance (Eds.), Conjugated Polymeric Materials. Opportunity in Electronics, Optoelectronics and Molecular Electronics, Kluwer, Dordrecht, 1990. [5] A. Ulman, An Introduction To Ultrathin Organic Films: From Langmuir–Blodgett To Self-Assembly, Academic Press, Boston, 1997. [6] H. Kuzmany, M. Mehring, S. Roth, Electronic Properties of Polymers and Related Compounds (Springer Series in Solid-State Sciences, Vol. 63), Springer Verlag, 1985. [7] M. Pope, C.E. Swenberg, Electronic Processes in Organic Crystals, Clarendon Press, Oxford, 1982. [8] S. Nespurek, J. Non-Cryst. Solids 299–302 (2002) 1033. [9] H. Usui, Thin Solid Films 365 (1) (2000) 22. [10] M. Ottmar, D. Hohnholz, A. Wedel, M. Hanack, Synth. Met. 105 (1999) 145. [11] S. Antohe, L. Ion, V.A. Antohe, J. Optoelectron. Adv. Mater. 5 (4) (2003) 907. [12] J. Ackermann, C. Videlot, A. El-Kassmi, Thin Solid Films 403–404 (2002) 157. [13] N.L. Dmitruk, I.B. Mamontova, O.Yu. Borkovskaya, Ya.I. Vertsimakha, Mol. Cryst. Liq. Cryst. 384 (2002) 49. [14] A. B¨ohler, P. Urbach, D. Ammermann, W. Kowalsky, Mater. Sci. Eng. B 51 (1–3) (1998) 58. [15] A. Pron, P. Rannou, Prog. Polymer Sci. 27 (1) (2002) 135. [16] S. Zhou, W. Qiu, W. Hu, Y. Liu, F. Bai, D. Zhu, Thin Solid Films 375 (1–2) (2000) 263. [17] S.R. Forrest, J. Phys.: Cond. Matter 15 (38) (2003) S2599. [18] A. Bolognesi, A. Di-Carlo, P. Lugli, G. Conte, Synth. Met. 138 (1–2) (2003) 95. [19] S.K. Moore, IEEE-Spectrum 39 (9) (2002) 55. [20] L. Torsi, N. Cioffi, C. Di Franco, L. Sabbatini, P.G. Zambonin, T. Bleve-Zacheo, Solid-State El. 45 (8) (2001) 1479.

Page 55: Metode experimentale pentru fabricarea şi analiza ...semiconductoare se poate face prin metode chimice cum ar fi: recristalizare, distilare, precipitare, extracţia şi absorţia

55

[21] N. Karl, Synth. Met. 133–134 (2003) 649–657. [22] R. Schmechel, J. Appl. Phys. 93 (8) (2003) 4653. [23] Y. Shen, K. Diest, B.R. Man-Hoi-Wong, D.H. Hsieh, G.G. Dunlap, Malliaras, Phys. Rev. B-Cond. Matter Mater. Phys. 68 (8) (2003) 812041. [24] D.R.T. Zahn, T.U. Kampen, H. Mendez, Appl. Surf. Sci. 212–213 (2003) 423. [25] G. Paasch, T. Lindner, S. Scheinert, Synth. Met. 132 (1) (2003) 97. [26] V.I. Arkhipov, E.V. Emelianova, G.J. Adriaenssens, H. Bassler, J. Non-Cryst. Solids 299–302 (Part B) (2002) 1047. [27] J. Steiger, R. Schmechel, H. von-Seggern, Synth. Met. 129 (1) (2002) 1. [28] M.A. Baldo, S.R. Forrest, Phys. Rev. B-Cond. Mat. Mater. Phys. 64/8 (2001) 085201/1–17. [29] V. Sunel, G.I. Rusu, G.G. Rusu, L. Leontie, C. S¸ oldea, Prog. Org. Coat. 26 (1) (1995) 53. [30] V. Sunel, M. Rusu, G.I. Rusu, N. Asandei, L. Leontie, Cellulose Chem. Techn. 31 (5–6) (1997) 309. [31] G.I. Rusu, I. Caplanus, L. Leontie, A. Airinei, E. Butuc, D. Mardare, I.I. Rusu, Acta Mater. 49 (2001) 553. [32] L. Leontie, Mihaela Roman, I. Caplanus¸, G.I. Rusu, Prog. Org. Coat. 44 (2002) 287. [33] L. Leontie, M. Roman, F. Brinza, C. Podaru, G.I. Rusu, Synth. Met. 138 (2003) 157. [34] L. Leontie, I. Olariu, G.I. Rusu, Mater. Chem. Phys. 80 (2003) 506. [35] L. Leontie, I. Druta, R. Alupoae, G.I. Rusu, Mater. Sci. Eng. B 100 (3) (2003) 252. [36] I. Druta, R. Danac, R. Barbieru, D. Tapu, M. Andrei, Sci. Annals “Al.I. Cuza” Univ. Iasi 9 (2001) 149. [37] R. Danac, A. Rotaru, G. Drochioiu, I. Druta, J. Heterocyclic Chem. 40 (2003) 283. [38] R. Danac, Researches in the field of 1,10-phenanthroline Ph.D. Thesis, Al.I. Cuza Univ. 2003. [39] A.S. Ohotin, A.S. Pushkarski, R.P. Borovikova, V.A. Simonov, Metody Izmereniya Harakteristik Termoelektriceskih Materialov i Preobrazovatelej, Izd. Nauka, M., 1974. [40] R. Smith, Semiconductors, Cambridge University Press, London, 1980. [41] H. Meier, Organic Semiconductors, Verlag Chemie, Weinheim, 1974. [42] I. Caplanus, Sci. Annals Al.I. Cuza Univ. Iasi (Physics) 30 (1984) 31; [43] P.T. Landsberg (Ed.), Handbook on Semiconductors. Basic Properties of Semiconductors, vol.1, North-Holland, Amsterdam, 1992. [44] L.L. Kazmerski, Polycrystalline Amorphous Thin Films and Devices, Academic Press, New York, 1980. [45] G.I. Rusu, G.G. Rusu, M.E. Popa, Mat. Res. Innovat. 7 (2003) 372.