1
SCOALA DOCTORALĂ DE FIZICĂ
UNIVERSITATEA DIN BUCUREŞTI
FACULTATEA DE FIZICĂ
Contribuţii la Optimizarea Sistemului de Precesie la Difracţia
Electronilor în cazul Examinării Filmelor Subţiri
REZUMAT
Îndrumători: Prof. Univ. Dr. Victor Ciupină
Doctorand: Ing. Fiz. Manu Radu
2019
2
Cuprins 2
Introducere 3
Capitolul I. Tehnici de Microscopie Electronică ..................................................................... 4
Capitolul II. Metode de investigare............................................................................................. 9
Capitolul III. Transformata Radon............................................................................................... 12
Capitolul IV. Optimizarea sistemului de precesie electronică .................................................. 15
IV.4. Achiziția și prelucrarea imaginilor .......................................................................... 18
Capitolul V. Aplicații privind prelucrarea imaginilor de difacție ........................................... 19
V.1. Aplicații software de prelucrare a imaginii .......................................................................... 19
V.2. Interpretarea figurilor de difracție ............................................................................ 21
V.2.3 Nanoparticule de oxid de titan pe suport de formvar ............................................... 21
Cap. VI. Analiză comparativă a profilelor obținute din figurile de difracție fără precesie și
cu precesie ...........................................................................................
26
VI.1. Filmul de carbon amorf ....................................................................................................... 26
VI.2. Particule de Au pe suport de carbon amorf .............................................................. 30
VI.3. Film subțire de Al .................................................................................................... 35
VI.4. Particule de CdS pe suport de formvar ..................................................................... 39
VI.5. Nanoparticule de hidroxiapatită ............................................................................... 43
Capitolul VII. Concluzii ................................................................................................................. 48
Bibliografie ........................................................................................................................... 53
3
Introducere
Decat să caut o mie de scuze pentru care să nu pot!
Prefer să găsesc un singur motiv pentru care să reuşesc!!!
Autorul!
Nanoştiinţa şi nanotehnologia sunt considerate la ora actuală ca fiind deosebit de importante
datorită puterii de penetraţie în sectoarele tehnologice. Acestea beneficiază de o abordare
interdisciplinară sau “convergentă”, care impune participarea unor specialişti din diferite domenii.
Pentru investigarea filmelor subțiri se folosesc metode moderne cum ar fi:
- difracția de raze X,
- microscopul de baleaj
- microscopul electronic prin transmisie de înaltă rezoluție (HRTEM).
Filmele subțiri au aplicaţii relevante în domeniul opticii, electronicii şi mecanicii.
Performanțele acestor filme sunt determinate de parametrii de depunere precum şi de prepararea
substrațelor. În timpul derularii procesului de depunere este utilă determinarea morfologiei
filmelor crescute sub conditii variabile de proces, prezența defectelor, uniformitatea filmelor,
rugozitatea suprafeţelor.
Dezvoltarea materialelor micro şi nanostructurate, a nanodispozitivelor utilizate în micro
şi nanoelectronică implică o investigare amanuntită a aranjamentului atomic, a interfeţelor, a
defectelor cristaline în nanocristale şi la interfețe, cerința clară pentru proiectarea cu succes al
acestor materiale având în vedere legatura stransă dintre proprietăți şi structură.
4
În paginile acestei teze de doctorat sunt prezentate rezultatele eforturilor depuse în
activitatea de cercetare desfăşurată în cadrul Institutului Naţional de Fizica Laserilor, Plasmei şi
Radiaţiei – Măgurele, laboratoarelor de Fizica Solidului şi de Microscopie Electronică ale
Universităţii „Ovidius”.
Această activitate a vizat pe de o parte, studiul difractiei de electroni iar pe de alta parte studiul
sistemului de precesie electronica, si contributii la optimizarea sistemului respectiv.
Studiul a fost realizat prin diferite tehnici de analiză structurală şi compoziţională, cele mai
reprezentative fiind:
Microscopie de Transmisie Electronică (TEM), Microscopie Electronică de Baleiaj (SEM) şi
difracţia de raze X.
Tema aleasă este de actualitate datorită interesului în obţinerea unor rezultate imbunatatite
folosite in tehnicile de Microscopie Electronica de Transmisie folosind sistemul de precesie care
constituie obiectul de studiu al acestei lucrari cu aplicatii in numeroase domenii ale ştiinţei in micro
si nanotehnologiei, cele mai spectaculoase aplicaţii fiind in tehnica semiconductoarelor şi
dielectricilor, în microelectronică, tehnica laserilor, electronica frecvenţelor înalte, automatică şi
calculatoare.
Prezenta lucrare de doctorat este structurată pe cinci capitole.
Primele trei capitole descriu stadiul actual al cercetării teoretice şi experimentale desfăşurate în
domeniul difractiei de electroni, cu accente pe studiul materialelor nanostructurate.
În cuprinsul acestor capitole sunt prezentate pe larg metodele de obţinere si examinare a filmelor
subţiri nanostructurate şi a tehnicilor de investigare morfologică şi compoziţională a acestora.
S-a acordat o deosebită atenţie prezentării tehnici de Microscopie Electronica de Transmisie si a
sistemului de precesie electronica folosit in această tehnică.
Ultimul capitol este destinat exclusiv prezentării activităţii de cercetare desfăşurată în scopul
analizarii filmelor subţiri de dimensiuni nanometrice.
O deosebita importanţă a fost acordată studiului comparativ între sistemul classic de difracţie a
electronilor şi difracţia electronilor asistată de sistemul de precesie electronica deoarece aceasta
face obiectul studiului prezentei teze de doctorat.
5
Capitolul 1. Tehnici de Microscopie Electronică
Microscopul este un instrument optic cu ajutorul căruia poate fi obţinută imaginea mărită a unui
obiect. Scopul urmărit de utilizatorul acestui instrument este de a obține imaginea mărită a obiectul
investigat, pentru a putea observa caracteristicile de dimensiuni foarte mici ale acestuia. Apar astfel
noțiuni de mărire, rezoluție, profunzime de câmp, aberații ale lentilelor, etc [1-7], legate de
funcționarea instrumentului și de interpretarea ulterioară a rezultatelor.
Metodele de obținere a unei imaginii mărite pentru un obiect ce nu poate fi observat cu
ochiul liber sunt diverse. Dacă ne referim la microscopia electronică, principiile imlicate sunt
aceleasi cu cele folosite in ultimii 400 de ani în microscoapele optice. Astfel, un microscop
electronic prin transmisie (TEM) are în construcție un condensor, un obiectiv, un sistem de
proiecție, astfel poate ce o analogie în modul de construcție al imagini dintr-un microscop optic,
iar un microscop electronic cu baleiaj (SEM) este similar, cu un microscop optic prin reflexie.
Rezoluția unui sistem optic se definește ca distanța minimă dintre două obiecte care produc imagini
separabile și se exprimă prin relația:
𝑑 =0,61𝜆
𝒏𝑠𝑖𝑛𝜃
unde este lungimea de undă a radiației incidente utilizată în obținerea imaginii, este
semiapertura unghiulară ce descrie lentila din sistemul optic, iar n este indicele de refracție al
mediului. Dacă lungimea de undă a radiaţiei este mică, putem spune conform relației (1.1) că
rezoluţia este bună, d fiind proporțional cu . Ca și exemplu, dacă se consideră o lungime de undă
a luminii de aproximativ 200 nm, se obţine o rezoluţie de aproximativ ~162nm (dacă considerăm
n=1.5 și =30°) sau ~115nm (dacă considerăm n=1.5 și =45°).
Pentru o diferență de potenţial V, electronii sunt accelerați și lungimea de undă asociată
fascicolului de electroni este dată de relaţia :
𝝀 = 𝒉
√𝟐𝒎𝒆𝑽(𝟏+𝒆𝑽/𝟐𝒎𝒄𝟐 )
Unde: - h - constanta lui Planck (6,6261𝑥10−27𝐽 ∙ 𝑠[8])
- m - masa electronului
- e - sarcina electronului
- c - viteza luminii
- V - tensiunea de accelerare
În microscopia electronică, datorită tensiunilor de accelerare, se pot obţine lungimi de undă
mai mici cu aproximativ 104 ÷ 105 ori decât lungimea de undă a luminii (Tabelul 1.1.). Acest aspect
evidențiează de fapt că rezoluţia microscoapelor electronice este superioară sistemelor optice,
ajungând ca ordin de mărime la câţiva angstromi în cazul celor mai perfecţionate instrumente [3].
Tabelul 1.1. Lungimea de undă a undei asociate fascicolului de electroni acceleraţi.
6
Tensiunea de
accelerare (kV)
20 40 60 80 100 200 300 400
Lungimea de undă
(Å)
0,086 0,061 0,049 0,042 0,037 0,025 0,020 0,016
Microscopul Electronic prin Transmisie
Ca și componente majore ale unui microscop electronic se pot enumera: tunul electronic, sursa
de electroni; lentilele condensor, ce ajută la formarea fascicolului de electroni; lentila obiectiv,
cu rol de formare a imaginii; și în partea inferioară a coloanei, sistemul de proiecție cu lentilele
care dictează mărirea imaginii în camera de proiecţie.[2-5]
Tunul electronic
Lentilele
Bobinele de deflexie
Stigmatorii
Microscopul electronic prin transmisie (TEM) utilizează lentile electromagnetice pentru formarea,
focalizarea, manipularea unui fascicul de electroni emis de tunul electronic, și accelerat la o
diferenţă de potenţial înalt, pentru a fi capabil să ajungă și să traverseze o probă, plasată în vid [3-
5].
Figura 1. Imaginea Microscopului Electronic prin Transmisie Philips CM 120/STEM
Figura 1 prezintă microscopul electronic prin transmisie (TEM). Părţile componente sunt: tunul
electronic (1), coloana electrono–optică (2), compustage/ camera probei (3), aperturi (4), camera
de vizualizare (5), calculator de proces (6).
Difracţia de electroni
Unul din modurile adiționale de lucru ce se poate obține folosind un microscop electronic prin
transmisie este difracția de electroni. Din analiza distribuţiei spaţiale de electroni împrăştiați –
cunoscută ca imagine de difracţie de electroni, se poate deduce o mare cantitate de informaţii
7
privind aranjamentul atomilor în probă. Dacă energia electronului incident este E0 probabilitatea
p() ca el să fie împrăştiat sub un unghi este data de relaţia,
𝒑(𝒒) ≅ 𝟏/ 𝑬𝟎𝟐𝒔𝒊𝒏𝟒𝒒
Această relaţie arată că intensitatea împrăştierii elastice pe un atom este maximă când
unghiul de împrăştiere este zero şi descreşte monoton când creşte [3-5]. La materiale cristaline,
modelul de difracţie este mai complex. Deşi atomii individuali împraştie electronii în acord cu
ecuaţia de mai sus, atunci când atomii sunt împachetaţi împreună, există o interacţie puternică între
razele împrăştiate de diferiţi atomi. În difracţia de electroni sunt importante atât distribuţia
unghiulară a electronilor împrăştiaţi, cât şi intensitatea împrăştierii.
Un fascicul de electroni care trece printr-o probă subţire conţine trei componente:
- electroni împrăştiaţi elastic
- electroni împrăştiaţi neelastic
- electroni care trec prin probă fără să interacţioneze cu aceasta.
Împrăştierea elastică se produce fără pierderea de energie si fără variaţie a lungimii de undă
a electronilor, apărând ca rezultat al devierii electronilor sub acţiunea nucleelor atomice din probă.
Împrăştierea inelastică rezultă în urma ciocnirii fluxului de electroni cu învelisul electronic al
atomilor substanţei împrăştietoare ceea ce duce la pierderea unei părţi din energia electronilor
incidenti, cu schimbarea corespunzătoare a lungimii de undă asociată. Energia pierdută se
regăseşte sub formă de energie termică sau sub formă de energie a razelor X emise de probă.
După trecerea fasciculului de electroni printr-o probă cristalină subţire (în microscopul
electronic) la suprafaţa de ieşire a acesteia apar fascicule difractate, care provin de la undele
împrăştiate în fază numai în anumite direcţii cristalografice. Fasciculul difractat este intens dacă,
diferenţa de drum (intre undele ce se suprapun) este un număr intreg de lungimi de undă n (legea
lui Bragg), adică
2d(hkl) sin = n,
unde, d(hkl) este distanţa interplanară corespunzatoare familiei de plane hkl, este lungimea
de undă a radiației incidente, este unghiul de incidenţă, iar n este numar intreg .
Prin analizarea distribuţiei spaţiale a electronilor împrăştiati, cunoscută ca imagine de
difracţie de electroni, se pot deduce informaţii privind aranjamentul atomilor în probă. Cei doi
parametri importanţi în difracţia de electroni sunt distribuţia unghiulară a electronilor împrăştiati
şi intensitatea împrăştierii. Geometria difracţiei de electroni este simplă şi din cunoaşterea ei se
poate deduce structura cristalului şi orientarea lui. Cunoaşterea factorilor care determină
intensitatea de împrăştiere a electronilor contribuie la deducerea unor informaţii mai detaliate
despre imaginea de difracţie şi la înţelegerea şi interpretarea imaginilor materialelor cristaline.
Precesia difracţiei de electroni
Este o tehnică nouă pusă la punct în anii 1994 de Vincent şi Midgley [21] și dezvoltată ușterior
de C. Own[22]. Principiul metodei este relativ simplu. În primul rând, fascicolul de electroni este
8
deviat şi rotit cu ajutorul lentilei condensor. Frecvenţa de rotaţie este un parametru controlabil cu
ajutorul echipamentului electronic. După interacţia fascicolului cu materialul studiat, acesta este
recolimat cu ajutorul lentilelor DeScan. Precesia difracţiei de electroni este echivalentă metodei
cristalului rotitor utilizată în difracţia razelor X. Avantajul metodei este că poate achiziţiona figuri
de difracţie în care efectul dinamic este foarte redus. În Fig.4. este reprezentat schematic principiul
precesiei difracţiei electronilor, iar în Fig.5. este prezentat sistemul SpinningStar montat pe
microscopul Philips CM120ST.
Printre avantajele folosirii precesiei în achiziţia figurilor de difracţie putem enumera:
reducerea dependenţei intensităţilor din figura de difracţie de grosimea probei, reducerea efectele
datorate de curbură datorate sferei Ewald, reducerea efectelor dinamice, a împrăştieri multiple,
poate fi instalată pe o gamă foarte largă de instrumente, chiar şi versiunile mai vechi, fără a fi
nevoie de configuraţii special.
Figura 4. Principiul de funcţionare al
precesiei difracţiei electronilor Figura 5. Sistemul SpinnigStar
Folosind precesia electronilor putem obţine figuri de difracţie cu efecte dinamice scăzute,
intensităţile extrase din aceste figure pot fi ulterior utilizate în studiul structurii cristaline.Figurile
de difracţie obţinute pe materiale policristaline sunt deranjate de folosirea stop beam-ului care
acoperă spotul central, pentru a
proteja scintilatorul camerei video de
o expunere prea puternică. Folosind
precesia electronilor şi o geometrie
adecvată a aperturilor obiectiv şi de
selectare a ariei se poate obţine o
figură de difracţie în care nu mai este
nevoie de utilizarea stop beam-ului.
9
Figura 6. Rezultate ale utilizării sistemului de precesie
Capitolul 2. Metode de investigare
Analiza microstructurală prin difracţie de raze X – principii generale
Difracţia de raze X este o metodă nedistructivă, versatilă, care permite obţinerea de informaţii
detaliate privind structura cristalografică şi compoziţia chimică a materialelor naturale sau
fabricate.
Analiza microstructurală prin difracţie de electroni
Comparativ cu difracția de raze X probele investigate prin difracție de electroni trebuie
ajustate/pregătite corespunzător pentru investigare.
Metoda de investigare
În continuare este descris modul și pașii urmăriți pentru achiziția imaginilor de difracție:
- Selectarea măririi de lucru pentru a obține o privire de ansamblu a zonei de lucru
- Focalizarea imaginii în modul TEM
- Selectarea zonei de lucru
- Selectarea dimensiunii spotului
- Selectarea ariei prin centrarea aperturii SAA(Selected Area Aperture) pe zona respectivă
- Trecerea în modul de difracţie prin activarea lentilei de difracţie
- Selectarea lungimii camerei
- Focalizarea spotului prin modificarea intensităţii (potenţiometrul pe poziţe stânga maxim) şi
modificarea focalizării (potenţiometrul FOCUS), ajustarea centrării figurii de difracție cu
ajutorul potențiometrelor MultiFunction X și Y.
- Poziţionarea stop beam în calea fascicolului central pentru protejarea camerei CCD sau ca
reper în cazul efectuării măsurătorilor direct pe ecranul fluorescent al microscopului.
- Introducerea camerei CCD în fascicol
- Achiziţionarea imaginii prin captura de imagine folosind platforma iTEM. În acest moment,
imaginea este salvată automat cu informații despre parametrii de lucru ai microscopului
incluzând: mărirea de lucru, lungimea camerei, dimensiunea spotului, curentul de emisie,
poziția probei în Compustage (prin memorarea valorilor x, y, z, α,β de la Compustage).
- Pentru imaginile SAED în cazul pulberilor se recomandă următorii parametrii: SAA 3,
dimensiunea spotului 2-6, lungimea camerei 880mm
10
Prin folosirea aperturii SAA se ajustează numărul de cristale care participă la imaginea de difracție.
Cu cât apertura este mai mică cu atât intensitatea fascicolului difractat scade, datorită dependenței
acesteia de numărul de celule elementare care participă. Lungimea camerei este direct legată de
rezoluția profilului deoarece detectorul(scintilator+ CCD) având o poziție fixă în calea
fascicolului, lărgind zona de vizualizare crește implicit rezoluția. Totuși, trebuie folosită o lungime
de cameră optimă, datorită faptului că imaginea obținută cu ajutorul camerei video poate conține
și fascicole difractate din zone Laue de ordin superior, ceea ce complică interpretarea figurilor
obținute
Metode de indexare
În cazul difracție de raze X există o serie de algoritmi implementați în aplicații software [23-32]
ce permit indexarea relativ simplă a vârfurilor dintr-un profil. Aceste aplicații se pot utiliza și în
cazul îmrăștierii neutronilor [33]. Chiar dacă difracția electronilor duce la rezultate asemănătoare
ca formă a profilului, respectiv modul în care se calculează distanțele interplanare, aplicare acestor
algoritmi în cazul difracției de electroni este îngreunată de valoarea foare mică a lungimii de undă,
respectiv de faptul că în unele cazuri este nevoie de specificarea factorilor de împrăștiere [34-36].
Astfel, pentru difracția de electroni aplicațiile trebuie dezvoltate separat având în principal același
mod de lucru ca și în cazul aplicațiilor de prelucrare pentru profilele obținute din difracția razelor
X [37-41]. Dezvoltarea algoritmilor de prelucrare necesită, de asemenea, identificare și a
posibilelor faze aflate în stare amorfă din diferite motive [46-49].
Metoda matematică în cazul structurilor cubice
Distanța interplanară în cristalele cubice poate fi scrisă în funcție de parametrii rețelei folosind
ecuația distanței dintre plane:
𝟏
𝒅𝟐 =𝒉𝟐+𝒌𝟐+𝒍𝟐
𝒂𝟐 (2.2)
Folosind legea lui Bragg (𝝀 = 𝟐𝒅𝒔𝒊𝒏𝜽), care poate fi rescrisă sub una din cele două forme de
mai jos:
𝝀𝟐 = 𝟒𝒅𝟐𝒔𝒊𝒏𝟐𝜽 sau 𝒔𝒊𝒏𝟐𝜽 =𝝀𝟐
𝟒𝒅𝟐. (2.3)
Combinând această relație cu ecuația distanței dintre plane ne conduce la o nouă relație:
𝟏
𝒅𝟐 =𝒉𝟐+𝒌𝟐+𝒍𝟐
𝒂𝟐 =𝟒𝒔𝒊𝒏𝟐𝜽
𝝀𝟐 (2.4)
Care poate fi rearanjată:
11
𝒔𝒊𝒏𝟐𝜽 = (𝝀𝟐
𝟒𝒂𝟐) (𝒉𝟐 + 𝒌𝟐 + 𝒍𝟐) (2.5)
Termenul din paranteză (𝜆2
4𝑎2) este constant pentru orice figură (deoarece lungimea de undă 𝜆 şi
parametrul reţelei nu se modifică). De aceea 𝑠𝑖𝑛2𝜃 este proporţional cu ℎ2 + 𝑘2 + 𝑙2.
Această proporţionalitate arată că planele cu indici Miller ridicați vor difracta la valori mari ale lui
𝜃. Deoarece (𝜆2
4𝑎2) este constant pentru orice figură, putem scrie următoarea relaţie pentru oricare
două plane diferite:
𝑠𝑖𝑛2𝜃1
𝑠𝑖𝑛2𝜃2=
(𝜆2
4𝑎2)(ℎ12+𝑘1
2+𝑙12)
(𝜆2
4𝑎2)(ℎ22+𝑘2
2+𝑙22)
sau 𝑠𝑖𝑛2𝜃1
𝑠𝑖𝑛2𝜃2=
(ℎ12+𝑘1
2+𝑙12)
(ℎ22+𝑘2
2+𝑙22)
Raportul valorilor 𝒔𝒊𝒏𝟐𝜽 variază cu raportul valorilor (𝒉𝟐 + 𝒌𝟐 + 𝒍𝟐).
În sistemul cubic, primul vârf din figura de difracție este datorat planelor cu cei mai mici indici
Miller , (adică pentru structura cubică simplă, (100), ℎ2 + 𝑘2 + 𝑙2 = 1; pentru structura cubică cu
volum centrat, (110), ℎ2 + 𝑘2 + 𝑙2 = 2; pentru structura cubică cu fețe centrate, (111), ℎ2 + 𝑘2 +
𝑙2 = 3;)
Deoarece h, k și l sunt întotdeauna numere întregi, putem obține valorile pentru ℎ2 + 𝑘2 + 𝑙2 prin
împărţirea valorilor 𝑠𝑖𝑛2𝜃 pentru diferite vărfuri din figura de difracţie la valoarea cea mai mică a
acestuia (adică, valoarea 𝑠𝑖𝑛2𝜃 a primului vârf din figură) şi multiplicarea acestui raport cu o
valoare întreagă corect aleasă (poate fi 1, 2 sau 3).
Această operaţie conduce la o listă de numere întregi ce reprezintă deferitele valori pentru ℎ2 +
𝑘2 + 𝑙2. Putem identifica corect rețeaua Bravais prin recunoașterea unor secvențe de reflexii
permise pentru rețeaua cubică (adică, secvența vârfurilor permise scrise ca formă pătratică a
indicilor Miller).
Metoda analitică în cazul structurilor cubice
Este o metodă alternativă care conduce la același rezultat ca și metoda matematică. Această metodă
va fi un model bun de comparare.
Ne reamintim:
𝒔𝒊𝒏𝟐𝜽 = (𝝀𝟐
𝟒𝒂𝟐) (𝒉𝟐 + 𝒌𝟐 + 𝒍𝟐) şi (𝝀𝟐
𝟒𝒂𝟐) = constant pentru toate figurile de difracţie
Dacă notăm 𝑲 = (𝝀𝟐
𝟒𝒂𝟐), putem rescrie aceste ecuaţii sub forma:
𝒔𝒊𝒏𝟐𝜽 = 𝑲(𝒉𝟐 + 𝒌𝟐 + 𝒍𝟐)
12
Pentru orice sistem cubic, valorile posibile pentru ℎ2 + 𝑘2 + 𝑙2 corespund secvenţei:
𝒉𝟐 + 𝒌𝟐 + 𝒍𝟐 = 𝟏, 𝟐, 𝟑, 𝟒, 𝟓, 𝟔, 𝟖, 𝟗, 𝟏𝟎, 𝟏𝟏, …
Dacă determinăm 𝑠𝑖𝑛2𝜃 pentru fiecare vârf și împărțim aceste valori cu numerele întregi
2,3,4,5,6,8,9,10,11 ..., putem obține un factor comun, care este valoarea lui K corespunzătoare la
ℎ2 + 𝑘2 + 𝑙2 = 1.
K este legat de parametrul de rețea prin următoarea relație:
𝑲 = (𝝀𝟐
𝟒𝒂𝟐) sau 𝒂 =𝝀
𝟐√𝑲
Dacă împărțim valorile 𝑠𝑖𝑛2𝜃 pentru fiecare reflexie cu K, vom avea valorile pentru ℎ2 + 𝑘2 + 𝑙2.
Secvenţa de valori ℎ2 + 𝑘2 + 𝑙2 poate fi utilizată pentru indexarea fiecărui vârf şi pentru
identificarea rețelei Bravais.
Pentru rezolvarea problemei prin această metodă vom efectua pașii următori:
Pas1. Se identifică vârfurile
Pas2. Se determină 𝑠𝑖𝑛2𝜃
Pas3. Se calculează raportul 𝑠𝑖𝑛2𝜃/(𝑖𝑛𝑡𝑟𝑒𝑔𝑖)
Pas4. Se identifică cel mai mic divizor comun din (3) și se identifică întregii cărora le corespund.
Se notează cel mai mic divizor comun cu K.
Pas5. Se împarte 𝑠𝑖𝑛2𝜃 prin K pentru fiecare vârf. Aceasta va conduce la o listă de întregi
corespunzătoare valorilor ℎ2 + 𝑘2 + 𝑙2.
Pas6. Se selectează lista potrivită pentru valorile ℎ2 + 𝑘2 + 𝑙2 și se identifică rețeaua Bravais.
Pas7. Se calculează parametrii rețelei.
Capitolul 3. Transformata Radon
Transformata Radon [57], numită după matematicianul Johann Radon, este, în matematică,
transformata integrală ce consistă în integrala unei funcții asupra unor linii drepte. La început un
mic exemplu este prezentat doar ca să motiveze faptul că transformata Radon este aplicabilă la
extragerea parametrilor linie chiar şi în prezenţa zgomotului. Fig. 15 ne arată o imagine conţinând
trei linii dintre care două sunt foarte apropiate şi imaginea a fost stricată de zgomotul distribuit
uniform. Imaginea din dreapta din Fig. 15 ne arată transformata Radon discretă. Ni se va demonstra
că transformata Radon este capabilă să transforme fiecare linie în vârfuri poziţionate corespunzător
parametrilor liniilor.
13
Plecând de la relația 3.27, în forma de mai jos,
𝑔(𝜌, 𝜃) = ∫ ∫ 𝑔(𝑥, 𝑦)∞
−∞
∞
−∞⋅ 𝛿(𝑦 − 𝜌 ⋅ 𝑥 − 𝜃)𝑑𝑥𝑑𝑦 (3.32)
și utilizând facilitățile oferite de limbajul Java, utilizat în dezvoltarea aplicației ImageJ [58],
Damien Farrel a dezvoltat un plugin pentru ImageJ, ce permite utilizatorilor să aplice transformata
Radon în prelucrarea imaginilor. În figura de mai jos este exemplificată această operație
Pentru a urmări efectele procesării
imaginilor folosind transformata Radon am
generat o serie de imagini folosind noțiunile
teoretice prezentate mai sus.
În primul caz studiat am urmărit efectele
produse de dimensiunea punctelor (zone de
aceeași intensitate) in imagine. Figura de mai
jos prezintă imaginea generată folosind ImageJ,
respectiv sinograma asociată aceste imagini.
Punctele din centrul imaginii pot fi
descrise de ecuația,
𝑔(𝑥, 𝑦) = 𝛿(𝑥) ⋅ 𝛿(𝑦)
Respectiv cele dinspre margine, cu
ajutorul relației,
𝑔(𝑥, 𝑦) = ∑ 𝛿(𝑥𝑖) ⋅ 𝛿(𝑦𝑗)
𝑖,𝑗
; 𝑥𝑖2 + 𝑦𝑖
2
= 𝑟𝑖2
După aplicarea transformatei Radon
𝑔(𝜌, 𝜃) = ∫ 𝛿(𝑥) ⋅ 𝛿(𝜌 ⋅ 𝑥 + 𝜃)𝑑𝑥∞
−∞
Obținem
14
𝑔(𝜌, 𝜃) = 𝛿(𝜃)
pentru primele două cazuri, respectiv
𝑔(𝜌, 𝜃) = ∑ 𝛿(𝜃𝑖)
𝑖
pentru discuri.
În cazul materialelor policristaline[64-66], figurile
de difracție sunt suprapuneri de figuri de difracție
povenind de la o multitudine de cristale orientate
diferit, cum poate fi observat în figura de mai jos. Se
obțin astfel inelele de difracție caracteristice
imaginilor ce conțin figuri de difracție obținute pe
materialele policristaline.
În continuare sunt prezentate cazuri de transformate
Radon aplicate pe imagini simulate pentru o
structură cubică (Au), respectiv una hexagonală
(ZnO). Au fost studiate efectele produse de
determinarea incorectă a centrului imaginii,
respectiv distorsiuni eleiptice ale inelelor din figura
de difracție.
Dacă avem inele necentrate se obține următoarele sinograme. Se remarcă în cazul primului tip de
abatere, prezența în sinogramă a abaterii ca fiind faza inițială a funcțiilor aproximativ sinusoidale
Aur – structură ZnO – structură
ImageJ
Selecti
on
15
ce pot fi asociate cu inelul/discul central. Interpretarea unei astfel de sinograme ne va indica
centrarea incorectă a figurii de difracție în momentul achiziției imaginii. În cel de-al doilea caz de
În concluzie, transformata
Radon poate oferi un avantaj în
procesul de prelucrare al
figurilor de difracție, și nu
numai. Astfel, pentru figurile
obținute pe materiale
policristaline se pot identifica și
măsura diametrele inelelor,
calculând ulterior distanțele
interplanare. În cazul
distorsiunilor, acestea sunt
evidențiate mult mai ușor,
aplicând corecții dacă este cazul.
Capitolul 4. Optimizarea sistemului de precesie electronica
Sistemul de precesie pentru difracția electronilor, prezentat în capitolul 1, este un sistem electronic
ce acționează asupra bobinelor din coloana microscopului pentru a realiza operațiile de rotire a
fascicolului de electroni. Rotirea fascicolului se face cu ajutorului unui semnal alternativ aplicat la
bornele bobinei C2 (folosită pentru înclinarea fascicolului în modul normal de lucru), respectiv la
bonele bobinei DESCAN, pentru a reafocaliza fascicolul pe direcția axei optice.
În vederea optimizării sistemului de precesie am realizat o platformă mecanică de control pentru
comanda potențiometrelor de ajustare a corecțiilor. Aceste corecții sunt aplicate bobinelor
stigmatoare ale lentilei C2 pentru ajustarea circularității, astfel rotirea fascicolului de electroni se
realizează pe un cerc și nu pe elipsă, caz în care apar informații incorecte la prelucrarea imaginilor.
Prima etapă din realizarea platformei a fost identificarea motoarelor electrice ce pot fi utilizate în
experiment. Există o serie de tipuri de motoare, cum ar fi: motoarele de curent continuu,
motoarele de curent alternativ (asincrone; sincrone), servo motoare, motoare pas cu pas, hibride,
etc. Motoarele electrice sunt mașini care transformă lucrul mecanic în energie electrică sau invers.
Ele mai pot fi clasificate după regimul de funcționare: generatoare, motoare. Regimul de generator
apare când transformă energia mecanică în energie electrică, respetiv regimul de motor când
transformă energia electrică în energie mecanică.
Distorsiuni Figură
16
Pentru comanda motoarelor pas cu pas folosim Platforma Arduino Mega 2560 [67]
Pentru a realiza platforma funcțională necesară pentru optimizarea sistemului de precesie, aven
nevoie de 8 motoare pas cu pas ce vor corecta alinirea fascicolului, respective alinierea
DESCAN. Astfel, codul nostrum trebuie să conțină 8 clase Stepper.
Stepper m1BA = Stepper(stepsPerRevolution, m1bap1, m1bap2, m1bap3, m1bap4);
Stepper m2BA = Stepper(stepsPerRevolution, m2bap1, m2bap2, m2bap3, m2bap4);
Stepper m3BA = Stepper(stepsPerRevolution, m3bap1, m3bap2, m3bap3, m3bap4);
Stepper m4BA = Stepper(stepsPerRevolution, m4bap1, m4bap2, m4bap3, m4bap4);
Stepper m1DA = Stepper(stepsPerRevolution, m1dap1, m1dap2, m1dap3, m1dap4);
Stepper m2DA = Stepper(stepsPerRevolution, m2dap1, m2dap2, m2dap3, m2dap4);
Stepper m3DA = Stepper(stepsPerRevolution, m3dap1, m3dap2, m3dap3, m3dap4);
Stepper m4DA = Stepper(stepsPerRevolution, m4dap1, m4dap2, m4dap3, m4dap4);
Am codificat cele două module de aliniere prin BA pentru Beam Alignment, respectiv DA, pentru
DESCAN Alignment. Numerotarea motoarelor se face pornind de la motorul stânga sus, în sensul
acelor de ceasornic. De asemenea am introdus variablele m<Numar motor>(bas au da)p<Numar
17
pin intrare>, pentru a menține sistemul flexibil. Astfel orice modificare din configurația electrică,
poate fi ajustată în cod prin modificarea aferentă a variabilelor.
Pentru funcția setup(), avem nevoie de inițializarea vitezei de rotație, această viteză se pate
modifica ulterior dacă este cazul.
m1BA.setSpeed(5);
m2BA.setSpeed(5);
m3BA.setSpeed(5);
m4BA.setSpeed(5);
m1DA.setSpeed(5);
m2DA.setSpeed(5);
m3DA.setSpeed(5);
m4DA.setSpeed(5);
De asemenea, trebuie să conectăm sistemul la aplicația de prelucrare a imaginilor, de aceea vom
inițializa și comunicația serială:
Serial.begin(9600);
Pentru bucla infinită, trebuie să prevedem o parte de identificare a comenzilor, primite de la
aplicația de prelucrare a imaginilor, și o parte de execuție. În aplicația de prelucrare a imaginilor
avem un modul ce transformă abaterile de la formă în pași pentru sistemul nostru, astfel comenzile
primate sunt ușor de interpretat.
if (Serial.available() > 0) {
// read the incoming byte:
mesaj = Serial.read();
pasi = Serial.read();
switch(mesaj):
case ‘a’: // pentru motorul m1BA
m1BA.step(pasi);
break;
case ‘b’: // pentru motorul m2BA
m2BA.step(pasi);
break;
case ‘c’: // pentru motorul m3BA
m3BA.step(pasi);
break;
case ‘d’: // pentru motorul m4BA
m4BA.step(pasi);
18
break;
case ‘e’: // pentru motorul m1DA
m1DA.step(pasi);
break;
case ‘f’: // pentru motorul m2DA
m2DA.step(pasi);
break;
case ‘d’: // pentru motorul m3DA
m3DA.step(pasi);
break;
case ‘e’: // pentru motorul m4DA
m4DA.step(pasi);
break;
}
Variabila pasi este de tip character pe 8 biți, deci avem posibilitatea să trimitem comenzi ce permit
deplasarea motoarelor cu un număr de 127 pași într-un sens, respectiv 128 în sens invers.
Achiziția și prelucrarea imaginilor
Sistemul de achiziție și prelucrare a imaginilor este integrat în platforma iTEM [38]. Pentru a
interveni în operația de achiziție, și a prelucra informațiile, trebuie adăugat un modul, ce poate fi
dezvoltat folosind ImagingC integrat în platforma iTEM.
Dacă dorim să apelăm o funcție externă, putem folosi macro library ce permite accesul către o
bibliotecă externă înregistrată în sistemul de operare, în exemplul de mai sus, vom accesa funcția BOOL
shGetColMinMax (HWND, LONG, double *, double *, BOOL) din bibloteca platformei iTEM cu numele
SISHEET.DLL.
Având în vedere faptul că aplicația trebuie să prelucreze informația live, după care să trimită codul
pentru actualizarea poziției motoarelor pas cu pas, am ales să grupez funcțiile necesare într-o astfel
de biblioteca. Transformata Radon este deja dezvoltată ca și aplicație în limbaj C/C++ sau Java
(ImageJ), deci vom folosi algoritmul respectiv. În biblioteca vom adăuga codul necesar pentru
accesul la resursele sistemului, și anume portul serial(USB) pentru a comunica cu platforma
ATMEGA2560.
Pe scurt algoritmul utilizat poate fi descris prin:
1. Stocare imagine în buffer
2. Realizare transformata Radon
3. Calcul corecții, dacă corecțiile nu sunt necesare ieșim din algoritm, altfel continuăm cu
pasul 4
4. Comandă platformă ATMEGA2560
5. Revenim la punctul 1
19
Capitolul 5. Aplicații practice în prelucrarea imaginilor de difacție
5.1. Aplicații software de prelucrare imagini
ImageJ este un program de procesare a imaginii bazat pe platforma Java, dezvoltat de Institutul
Național de Sănătate din Statele Unite ale Americii. ImageJ a fost proiectat cu o arhitectură
deschisă ce asigură extensibilitatea prin plugin-uri Java. Plugin-urile scrise de utilizatori fac
posibilă rezolvarea procesării de imagini și analiza problemelor, de la imagistica tri-dimensională
a celulei, la procesarea de imagini radiologice și sisteme hematologice automatice. Arhitectura
plugin a lui ImageJ si platforma de dezvoltare integrată au facut din acest program o platformă
populară pentru predarea procesării de imagini.
CRISP utilizează tehnici de prelucrare ale imaginii cristalografice pentru extragerea informaţiilor
din figuri de difracție a electronilor. Tehnicile sunt pe deplin aplicabile la orice specimen
cristalografic, anorganic, organic sau biologic..
5.2. Interpretarea figurilor de difracție
Extragerea figurilor de difracție
După obţinerea şi calibrarea imaginilor de difracţie, se trece la extragerea profilului cu ajutorul
platformei iTEM. Figura 24 prezintă modul de realizare al acestui pas.
20
Figura 24. Utilizarea iTEM pentru extragerea profilului
Profilul reprezintă un set de valori ale intensităţii obţinute în imagine prin difracţia electronilor.
Extragerea propriu zisă are loc prin medierea valorilor din zona selectată, în cazul din figură acesta
fiind un dreptunghi. Există posibilitatea de extragere a profilului prin selectarea unei elipse, caz
mai puţin utilizat datorită prezenţei stopbeam-ului în imagine. Tot pentru evitarea stopbeam-ului,
zona selectată se situează în afara acestuia. De aceea, este nevoie şi de un punct de reper pentru a
recalcula valorile unghiului Bragg, punct definit prin măsurarea distanţei din centrul de simetrie la
punctul de start al profilului.
CRISP 2 este o aplicație care permite prelucrarea imaginilor de difracție a electronilor și a
imaginilor de înaltă rezoluție. În figura 25 si 26 este prezentată aplicația în timpul efectuării
măsurătorilor pe un material policristalin.
Figura 25. Aplicația CRISP2
21
Figura 26. Funcţia de distribuţie radială extrasă cu ajutorul aplicației CRISP2
Nanoparticule de oxid de titan pe suport de formvar
Oxidul de titan este cel comercializat sub denumirea de Degussa P25 (dimensiune particule 20nm).
Pentru a obține grila de vizualizare s-a realizat o dispersie a pulberii în alcool. O picătură din
soluție a fost așezată pe grila de Cu acoperită cu formvar.
Caracteristici structurale
Clasa de simetrie Tetragonal
Grup spaţial P 4(2)/mnm
Parametrii celulei elementare a=b=0.45930nm; c=0.295nm;
α=β=γ=90o
Numărul de atomi în celula elementară 6
Volumul celulei elementare 0,062 nm3
Volumul molar 18.80 cm3/mol
Densitatea 4.25 g/cm3
Analiza figurii de difracție pentru o structură tetragonală asemănătare simulată este prezentată în
Fig. 35 și 38, respectiv profilul extras în Fig. 36 și 39.
22
Figura 35. Imaginea simulată pentru proba tetragonală
Figura 36. Profilul extras din figura de difracție
Vârf Diametrul în
pixeli
Distanța
interplanară
(Å)
2θ° hkl
1 126 3,5243 0,6015690311890266 R110/A101
2 186 2,388 0,8878229512586041 R101/A103
3 203 2,1892 0,9684474850728105 R111/-
4 235 1,8974 1,117388844230272 -/A200
5 254 1,756 1,2073685770108946 -/A105
6 264 1,6853 1,2580208753201163 R211/-
7 301 1,4828 1,429832078820972 R310/A204
8 330 1,3517 1,5685183065035195 R112/A220
23
9 353 1,2631 1,6785494481789882 -/A301
10 382 1,1681 1,815074601137266 R321//A224
11 426 1,0466 2,0258077776672394 R222/-
Figura 37. Sinograma figurii de difracție
Figura 38. Identificare inelelor din figura de difracție
Figura 39. Extragerea profilului
24
Vârf Diametrul în
pixeli
Distanța
interplanară (Å)
2θ° hkl
1 127 3,5138 0,6033666671117984 R110/A101
2 183 2,4394 0,8691154887586356 R101/A103
3 190 2,3477 0,9030633990558835 R200/A112
4 205 2,1759 0,9743671785281762 R111/-
5 218 2,0409 1,0388206354819771 R210/-
6 235 1,8947 1,1189812048645584 -/A200
7 252 1,7693 1,1982923380765735 -/A105
8 263 1,6974 1,2490526547804923 R211/-
9 267 1,6687 1,2705360056459527 R220/A211
10 301 1,479 1,4335059428772492 R310/A204
11 331 1,3475 1,5734075014638114 R112/A220
12 354 1,2585 1,6846852310211413 -/A301
13 382 1,1662 1,8180320105387748 R321//A224
14 428 1,0429 2,0329956900031854 R222/-
O altă metodă de prelucrare este prin filtrarea imaginilor, respectiv separarea inelelor în vederea
calculării transformatei Radon, pentru simplificarea identificării/măsurării parametrilor din
imaginea rezultată. Pentru filtrare am folosit o mască de tip inel, cu lărgimea inelului aproape egală
cu cea a inelului din imaginea originală.
Astfel pentru proba de Au prezentată mai sus, avem
25
Figura 40. Figura de difracție și filtrarea imaginii folosind măști asociate inelelor
Figura 41. Sinogramele extrase
Măsurând distanțele interplanare din aceste imagini, identificăm pentru parametrul de rețea
datele prezentate în tabelul următor (albastru metoda clasică, portocaliu Radon plus filtrare)
hkl d(Å) % a d(Å) % A
111 2.365861 0.48 4.097791 2.375706 0.89 4.114843
200 2.047051 0.39 4.094102 2.071429 1.58 4.142858
220 1.434342 -0.52 4.056932 1.45 0.56 4.101219
311 1.225038 -0.37 4.062991 1.240413 0.87 4.113985
222 1.166298 -0.93 4.040175 1.187853 0.89 4.114843
26
400 1.020058 0.05 4.080232 1.02561 0.59 4.10244
331 0.931629 -0.42 4.060877 0.938616 0.32 4.091332
420 0.904138 -0.85 4.043428 0.916122 0.46 4.097022
Mean <1% 4.0670
(-0.273) <2%
4.1098
(0.7753)
Cohen 4.1000
(0.534) 4.0392
(-0.9564)
Cap VI. Analiză comparativă a profilelor obținute din figurile de difracție fără precesie
și cu precesie
Pentru a evidenția îmbunătățirea rezultatelor obținute prin utilizarea sistemului de precesie aplicat
difracției electronilor (PED) am realizat un studiu pe o serie de 5 probe, având diferite compoziții
și structuri cristaline. Prima probă prezentată este un film subțire de carbon amorf. Urmează două
materiale având structură cubică cu fețe centrate, Au și Al. Proba cu Au se prezintă sub formă de
nanoparticule, iar proba de Al sub formă de film policristalin. Urmează apoi două probe cu
structură diferită de cea cubică: CdS și hidroxiapatită. Am ales CdS și pentru faptul că prezintă
două faze predominante, adică hexagonală și cubică. Vom evidenția și separarea fazelor folosind
tehnica PED. Hidroxiapatita prezintă o structură de tip hexagonal.
VI.1 Filmul de carbon amorf
În figura 6.1.1. sunt prezentate imagini TEM cu filmul ales pentru studiu, film obținut prin metoda
TVA [76]. Pentru depunere a fost folosit un substrat de Si. Obținerea grilei pentru vizualizarea
TEM s-a realizat prin metoda rapidă (prin zgârierea filmului cu ajutorul unui cuțit de diamant).
27
Fig.6.1.1 Film amorf de carbon
Difracția electronilor a fost prelucrată folosind aplicația CRISP2 folosind modulul ELD conceput
pentru extragerea profilelor din figurile de difracție. Imaginea din Fig. 6.1.2. prezintă interfața
CRISP, respectiv imaginea din Fig. 6.1.3. arată profilul extras din figura de difracție obținută prin
metoda clasică (fără precesie activată). În imaginile din Fig. 6.1.4, respectiv Fig. 6.1.5 sunt
prezentate aceleași informații pentru figura de difracție obținută după activarea sistemului de
precesie.
Fig. 6.1.2. Interfața CRISP pentru prelucrarea figurilor de difracție pentru filmul de carbon folosind
modulul ELD (fără precesie activată)
28
Fig.6.1.3. Profilul extras din figura de difracție pentru carbon amorf fără precesie
Fig. 6.1.4. Interfața CRISP pentru prelucrarea figurilor de difracție, pentru filmul de carbon
folosind modulul ELD (cu precesie activată).
29
Fig.6.1.5. Profilul extras din figura de difracție pentru filmul de carbon amorf
(cu precesie activată).
Pentru evidențierea diferențelor am exportat profilele extrase sub formă de date, și am reprezentat
profilele în același grafic, Fig. 6.1.5. Pentru construcția graficului am folosit aplicația FitYK ce
permite analiza profilelor de difracție, în care putem transforma datele într-un format mai ușor de
interpretat, de exemplu seturi de puncte x,y. Urmează calcularea diferenței dintre cele două profile,
păstrând doar intervalul minim de evoluție în cazul celor două profile, deoarece în ELD zona
selectată pentru analiză poate varia în funcție de centrarea figurii de difracție în imaginea capturată.
(a) (b)
Fig. 6.1.6. Profilele pentru carbon amorf în cele două cazuri (a) și intensitățile pentru vârfurile
identificate în figura de difracție (b).
Datorită faptului că ordonarea în acest tip de probă este limitată la o distanță foarte mică,
de ordinul a 2 ÷ 3 ori valoarea parametrului de rețea (poate fi luată în considerare structura
hexagonală a grafitului sau structura cubică a diamantului) efectele dinamice sunt neglijabile.
Diferența dintre intensități așa cum rezultă în Fig. 6.1.6 a și Fig. 6.1.6.b, nu poate fi atribuită acestor
30
efecte. Din analiza Scherrer a lărgimilor la semiânălțime rezultă zone cristaline de ordinul 1,94
nm, respectiv 1,87 nm, după cum se observă în tabelul 6.1a și respectiv 6.1. b.
Tabelul 6.1. a Analiza Scherrer pentru filmul de carbon amorf fără precesie
NrCrt R(pixeli) dhkl(A) FWHM(pixeli) FWHM(A) Int Int/Imax
1* 168 2.6515 21.22 0.3 69 648
2* 212 2.103 22.22 0.2 1071 10000
3* 381 1.1707 26.08 0.07 425 3970
2theta dhklMin(A) dhklMax(A) 2thetamin 2thetamax beta Dds(nm)
0.7996 2.5015 2.8015 0.8475 0.7568 0.0908 2.1023
1.0081 2.0030 2.2030 1.0585 0.9624 0.0961 1.9856
1.8110 1.1357 1.2057 1.8669 1.7585 0.1084 1.7603
1.9494
Tabelul 6.1. b Analiza Scherrer pentru filmul de carbon amorf cu precesie
NrCrt R(pixeli) dhkl(A) FWHM(pixeli) FWHM(A) Int Int/Imax
1* 166 2.6779 23.51 0.33 178 1703
2* 211 2.1154 23.76 0.21 1047 10000
3* 380 1.1723 25.24 0.07 296 2834
2theta dhklMin(A) dhklMax(A) 2thetamin 2thetamax beta Dds(nm)
0.7917 2.5129 2.8429 0.8437 0.7458 0.0979 1.9483
1.0022 2.0104 2.2204 1.0546 0.9548 0.0997 1.9130
1.8086 1.1373 1.2073 1.8642 1.7561 0.1081 1.7651
1.8755
Dacă se compară aceste valori cu parametrul de grilă de grafit (0,76nm), se obține un raport
de aproximativ 2,86 și cu cel al diametrului (0,541 nm) rezultă un raport de aproximativ 3,45.
Aceste valori confirmă prezența filmului amorf, posibil constând dintr-un amestec de faze
cristaline grafit/diamant în regiuni reduse (~ 2nm).
VI.2 Particule de Au pe suport de carbon amorf
31
În figura 6.2.1. sunt prezentate imaginile TEM pentru proba de Au. Proba de Au a fost
obținută prin evaporare în vid, pe suportul de tip carbon amorf (Quantifoil R1.2).
Fig. 6.2.1. Particule de Au pe suport de carbon amorf
Difracția electronilor a fost prelucrată folosind aplicația CRISP2 folosind modulul ELD conceput
pentru extragerea profilelor din figurile de difracție. Imaginea din Fig. 6.2.2 prezintă interfața
CRISP, respectiv imaginea din Fig. 6.2.3 prezintă profilul extras din figura de difracție (obținută
prin metoda clasică fără precesie activată). În imaginile din Fig. 6.2.4, respectiv din Fig. 6.2.5,
sunt cuprinse informațiile pentru figura de difracție obținută după activarea sistemului de precesie.
32
Fig. 6.2.2. Interfața CRISP pentru prelucrarea figurilor de difracție folosind modulul ELD
(fără precesie)
Fig.6.2.3. Profilul extras din figura de difracție pentru Au fără precesie activată
Fig. 6.2.4. Interfața CRISP pentru prelucrarea figurilor de difracție pentru Au folosind modulul
ELD (cu precesie)
33
Fig.6.2.5. Profilul extras din figura de difracție pentru carbon amorf cu precesie activă
Pe baza analizeia profilelor am realizat graficul de comparație prezentat în Fig. 6.2.6.
(a) (b)
Fig. 6.2.6. Profilele extrase pentru proba de Au în cele două cazuri (a) și intensitățile relative (b)
Din analiza Scherrer a lărgimilor la semiînălțime rezultă zone cristaline de ordinul 7.91 nm
pentru figura de difracție obținută fără precesie activă, respectiv 7.22 nm din datele extrase din
figura de difracție cu precesie activă, (Tab. 6.2. a și Tab. 6.2. b).
Tab. 6.2.a Analiza Scherrer pentru nanoparticule de aur depuse pe film de carbon amorf
NrCrt R(pixeli) dhkl(A) FWHM(pixeli) FWHM(A) Int Int/Imax
1* 159 2.807 5.07 0.09 11 71
2* 191 2.3344 5.22 0.06 1658 10000
3* 216 2.0669 5.36 0.05 295 1783
34
4* 222 2.0069 5.4 0.05 341 2057
5* 313 1.4254 6.09 0.03 517 3120
6* 366 1.2167 6.63 0.02 474 2859
7* 383 1.1645 6.81 0.02 98 592
8* 443 1.0059 7.56 0.02 21 130
9* 484 0.9209 8.14 0.02 155 935
2theta dhklMin(A) dhklMax(A) 2thetamin 2thetamax beta Dds(nm)
0.7553 2.7620 2.8520 0.7676 0.7434 0.0242 7.8771
0.9082 2.3044 2.3644 0.9200 0.8967 0.0233 8.1725
1.0258 2.0419 2.0919 1.0383 1.0135 0.0248 7.6883
1.0564 1.9819 2.0319 1.0697 1.0434 0.0263 7.2483
1.4874 1.4104 1.4404 1.5032 1.4719 0.0313 6.0941
1.7426 1.2067 1.2267 1.7570 1.7284 0.0286 6.6604
1.8207 1.1545 1.1745 1.8365 1.8052 0.0313 6.1011
2.1078 0.9959 1.0159 2.1290 2.0870 0.0419 4.5520
2.3024 0.9109 0.9309 2.3276 2.2776 0.0500 3.8150
7.9126
Tabelul 6.2b Analiza Scherrer pentru nanoparticule de aur depuse pe film de carbon amorf
NrCrt R(pixeli) dhkl(A) FWHM(pixeli) FWHM(A) Int Int/Imax
1* 68 6.5288 6.14 0.54 2 12
2* 150 2.9765 6.02 0.11 18 88
3* 186 2.3886 5.99 0.07 2116 10000
4* 212 2.0992 5.97 0.06 815 3854
5* 218 2.0431 5.97 0.05 308 1458
6* 306 1.4569 5.97 0.03 1078 5097
7* 359 1.2427 6 0.02 921 4354
8* 375 1.1903 6.01 0.02 188 890
9* 434 1.0285 6.09 0.01 50 238
10* 474 0.9411 6.16 0.01 234 1107
11* 486 0.918 6.18 0.01 233 1104
2theta dhklMin(A) dhklMax(A) 2thetamin 2thetamax beta Dds(nm)
0.3247 6.2588 6.7988 0.3387 0.3118 0.0269 7.0920
0.7123 2.9215 3.0315 0.7257 0.6994 0.0263 7.2461
0.8876 2.3536 2.4236 0.9008 0.8748 0.0260 7.3337
1.0100 2.0692 2.1292 1.0246 0.9957 0.0289 6.6084
1.0377 2.0181 2.0681 1.0506 1.0252 0.0254 7.5122
1.4553 1.4419 1.4719 1.4704 1.4404 0.0300 6.3665
1.7061 1.2327 1.2527 1.7199 1.6925 0.0275 6.9481
1.7812 1.1803 1.2003 1.7963 1.7664 0.0299 6.3744
2.0615 1.0235 1.0335 2.0715 2.0515 0.0200 9.5185
2.2529 0.9361 0.9461 2.2650 2.2410 0.0239 7.9693
35
2.3096 0.9130 0.9230 2.3223 2.2971 0.0252 7.5828
7.2240
Aici se discută particule cristalizate, cu dimensiuni cuprinse între 5 și 20 nm, formând grupuri de
particule în diferite locuri. Este un eșantion cu particule monocristaline și policristaline. În medie,
dimensiunea nanocristalelor poate fi considerată în jur de 7nm. După cum se vede în figura
6.2.6.(a) intensitatea profulului extras este mai intensă în cazul datelor obțiunute cu ajutorul
sistemului de precesie. Intensitățile relative calculate din profilurile de difracție a electronilor în
ambele cazuri, sunt foarte apropiate de datele XRD (Fig. 6.2.6. b). Deoarece valorile
corespunzătoare cazului de precesie sunt în special aproape identice cu XRD (0,204nm și
0,124nm), se poate concluziona că acesta este un exemplu experimental de luat în seamă în primul
rând.
VI.3 Film subțire de Al
În figura 6.3.1. sunt prezentate imagini TEM ale filmului de Al policristalin, depus prin evaporare
în vid pe suport de sticlă. Pregătirea grilei de vizualizare s-a realizat printr-o metodă rapidă.
Fig. 6.3.1. Film subțire de Al policristalin
Difracția electronilor a fost prelucrată folosind aplicația CRISP2 folosind modulul ELD conceput
pentru extragerea profilelor din figurile de difracție. Imaginea din Fig. 6.3.2. prezintă interfața
CRISP, respectiv imaginea din Fig. 6.3.3 arată profilul extras din figura de difracție obținută prin
36
metoda clasică fără precesie activată. Imaginile din Fig. 6.3.4, respectiv Fig. 6.3.5, prezintă
informațiile pentru figura de difracție obținută după activarea sistemului de precesie.
Fig.6.3.2. Interfața CRISP pentru prelucrarea figurilor de difracție folosind modulul ELD
Fig.6.3.3. Profilul extras din figura de difracție pentru Al policristalin fără precesie activată
37
Fig. 6.3.4. Interfața CRISP pentru prelucrarea figurilor de difracție folosind modulul ELD
cu precesie activă.
Fig. 6.3.5. Profilul extras din figura de difracție pentru Al policristalin cu precesie activată
Pe baza analizei profilelor din figurile 6.3.3. și 6.3.5. conform cu figura 6.3.6.a am realizat graficul
de comparație prezentat în figura 6.3.6.b
38
(a) (b)
Fig. 6.3.6. Profilele extrase pentru proba de Al în cele două cazuri (a)
și intensitățile relative (b).
Din analiza Scherrer a lărgimilor la semiânălțime rezultă zone cristaline de ordinul 10.52 nm
pentru figura de difracție obținută fără precesie activă, respectiv 7.27 nm din datele extrase din
figura de difracție cu precesie activă, după cum se observă în tabelul 6.3a și respectiv 6.3. b.
Tabelul 6.3a. Analiza Scherrer pentru filmul policristalin de Al fără precesie
NrCrt R(pixeli) dhkl(A) FWHM(pixeli) FWHM(A) Int Int/Imax
1* 190 2.3415 3.87 0.05 379 10000
2* 220 2.0285 3.89 0.04 215 5681
3* 311 1.4324 3.94 0.02 112 2959
4* 366 1.2189 3.97 0.01 118 3111
5* 382 1.1673 3.98 0.01 14 383
6* 442 1.0091 4.02 0.01 7 196
2theta dhklMin(A) dhklMax(A) 2thetamin 2thetamax beta Dds(nm)
0.9055 2.3165 2.3665 0.9152 0.8959 0.0193 9.8673
1.0452 2.0085 2.0485 1.0556 1.0350 0.0206 9.2570
1.4801 1.4224 1.4424 1.4906 1.4699 0.0207 9.2317
1.7394 1.2139 1.2239 1.7466 1.7323 0.0143 13.3697
1.8163 1.1623 1.1723 1.8241 1.8086 0.0156 12.2615
2.1011 1.0041 1.0141 2.1116 2.0907 0.0208 9.1628
10.5250
39
Tabelul 6.3b. Analiza Scherrer pentru filmul policristalin de Al cu precesie activă
NrCrt R(pixeli) dhkl(A) FWHM(pixeli) FWHM(A) Int Int/Imax
1* 201 2.2174 5.92 0.06 993 10000
2* 230 1.938 5.92 0.05 715 7206
3* 322 1.3857 5.92 0.02 372 3752
4* 376 1.1869 5.92 0.02 439 4423
5* 394 1.1328 5.92 0.02 46 471
6* 452 0.9871 5.92 0.01 33 335
2theta dhklMin(A) dhklMax(A) 2thetamin 2thetamax beta Dds(nm)
0.9561 2.1874 2.2474 0.9692 0.9434 0.0259 7.3737
1.0940 1.9130 1.9630 1.1083 1.0800 0.0282 6.7591
1.5300 1.3757 1.3957 1.5412 1.5191 0.0221 8.6395
1.7863 1.1769 1.1969 1.8015 1.7714 0.0301 6.3381
1.8716 1.1228 1.1428 1.8883 1.8553 0.0331 5.7733
2.1479 0.9821 0.9921 2.1589 2.1371 0.0218 8.7675
7.2752
Analiza Scherrer a FWHM pentru filmul subțire de Al evidențiează dimensiuni ale cristalelor de
10,52nm (Tab. 6.3.a) utilizând difracția clasică de electroni și respectiv de 7,27nm folosind
modulul de difracție cu sistem de precesie activ. Imaginile TEM (Fig. 6.3.2. și Fig. 6.3.3.)
evidențiează grăunți ai stratului de Al cu dimensiuni cuprinse în intervalul 10÷100nm. Pe baza
figurii 6.3.6.a putem compara intensitățile pentru ambele cazuri și deasemenea luând în seamă și
raportarea la XRD (Fig. 6.3.6.a), constatăm că este prezent același efect ca în cazul probei de Au.
Datele clasice sunt apropiate de valorile XRD, pe când valorile raportului evaluat din datele
achiziționate folosind sitemul de precesie sunt mai mari.
VI.4 Particule de CdS pe suport de formvar
În figura 6.4.1. sunt prezentate imaginile TEM pentru proba de CdS. Proba a fost obținută prin
metode chimice, grila pentru vizualizare a fost pregătită folosind metoda dispersiei din soluție în
alcool.
Fig.6.4.1. Imagini TEM ale nanoparticulelor de CdS depuse pe film de formvar
40
Difracția electronilor a fost prelucrată folosind aplicația CRISP2 folosind modulul ELD conceput
pentru extragerea profilelor din figurile de difracție. Imaginea din Fig. 6.4.2. prezintă interfața
CRISP, iar imaginea din Fig. 6.4.3. arată profilul extras din figura de difracție obținută prin metoda
clasică fără precesie activată. Sunt prezentate deasemenea în Fig. 6.4.4. respectiv 6.4.5,
informațiile pentru figura de difracție obținută după activarea sistemului de precesie.
Fig. 6.4.2. Interfața CRISP pentru prelucrarea figurilor de difracție folosind modulul ELD
Fig. 6.4.3. Profilul extras din figura de difracție pentru CdS fără precesie activată
41
Fig. 6.4.4. Interfața CRISP pentru prelucrarea figurilor de difracție folosind modulul ELD
Fig. 6.4.5. Profilul extras din figura de difracție pentru CdS cu precesie activată
După analiza profilelor (Fig. 6.4.6a) am realizat graficul de comparație prezentat în figura 6.4.6.b.
42
(a) (b)
Fig. 6.4.6. Profilele extrase pentru proba de CdS în cele două cazuri (a)
și intensitățile relative (b)
Din analiza Scherrer a lărgimilor la semiânălțime rezultă zone cristaline de ordinul 4.46 nm,
respectiv 3,57 nm, după cum se observă în Tab. 6.4.a și respectiv Tab. 6.4.b. Observăm același
comportament ca și în cazul filmului de carbon amorf, aici ordonarea materialului fiind echivalentă
dimensiunii nanoparticulelor. Putem trage concluzia în astfel de cazuri că discutăm de o probă în
care formațiunile cristaline/nanoparticulele sunt monocristale. Fig. 6.4.6.a. arată că nu există
diferențe între cele două profiluri și comparând în raport cu XRD (Fig. 6.4.6.b) constatăm aceiași
evoluție dar cu valori mai mici în ambele cazuri.
Tabelul 6.4.a. Analiza Scherrer pentru nanoparticule de CdS fără precesie
NrCrt R(pixeli) dhkl(A) FWHM(pixeli) FWHM(A) Int Int/Imax
1* 111 3.9984 9.2 0.3 110 537
2* 133 3.3481 9.19 0.22 2063 10000
3* 152 2.9347 9.18 0.17 209 1015
4* 218 2.0404 9.18 0.08 734 3559
5* 237 1.8783 9.18 0.07 205 995
6* 255 1.7474 9.19 0.06 528 2558
7* 274 1.6264 9.2 0.05 43 211
8* 314 1.4203 9.22 0.04 20 100
9* 338 1.3199 9.24 0.04 81 394
10* 379 1.1751 9.28 0.03 58 285
11* 398 1.12 9.3 0.03 32 155
12* 424 1.0509 9.33 0.02 0 0
13* 458 0.9745 9.38 0.02 25 125
2theta dhklMin(A) dhklMax(A) 2thetamin 2thetamax beta Dds(nm)
0.5302 3.8484 4.1484 0.5509 0.5111 0.0398 4.7894
0.6332 3.2381 3.4581 0.6547 0.6131 0.0417 4.5808
43
0.7224 2.8497 3.0197 0.7440 0.7021 0.0419 4.5556
1.0391 2.0004 2.0804 1.0599 1.0191 0.0408 4.6816
1.1288 1.8433 1.9133 1.1502 1.1081 0.0421 4.5342
1.2133 1.7174 1.7774 1.2345 1.1928 0.0417 4.5785
1.3036 1.6014 1.6514 1.3239 1.2838 0.0401 4.7599
1.4928 1.4003 1.4403 1.5141 1.4720 0.0421 4.5375
1.6063 1.2999 1.3399 1.6310 1.5823 0.0487 3.9185
1.8043 1.1601 1.1901 1.8276 1.7815 0.0461 4.1414
1.8930 1.1050 1.1350 1.9187 1.8680 0.0507 3.7620
2.0175 1.0409 1.0609 2.0369 1.9985 0.0384 4.9685
2.1757 0.9645 0.9845 2.1983 2.1536 0.0447 4.2722
4.4677
Tabelul 6.4.b. Analiza Scherrer pentru nanoparticule de CdS cu precesie
NrCrt R(pixeli) dhkl(A) FWHM(pixeli) FWHM(A) Int Int/Imax
1* 97 4.5807 10.5 0.45 73 320
2* 132 3.373 10.06 0.24 2280 10000
3* 189 2.3602 9.94 0.12 17 77
4* 190 2.3436 9.95 0.12 11 51
5* 217 2.0558 10.17 0.09 887 3892
6* 235 1.8925 10.42 0.08 152 668
7* 253 1.7598 10.74 0.07 646 2833
8* 307 1.4543 12.13 0.06 44 196
9* 335 1.3302 13.16 0.05 144 635
10* 378 1.1808 15.03 0.05 122 537
11* 396 1.1266 15.96 0.04 44 194
12* 455 0.9794 19.56 0.04 132 580
2theta dhklMin(A) dhklMax(A) 2thetamin 2thetamax beta Dds(nm)
0.4628 4.3557 4.8057 0.4867 0.4412 0.0456 4.1864
0.6286 3.2530 3.4930 0.6517 0.6070 0.0448 4.2610
0.8983 2.3002 2.4202 0.9217 0.8760 0.0457 4.1751
0.9046 2.2836 2.4036 0.9284 0.8821 0.0464 4.1165
1.0313 2.0108 2.1008 1.0544 1.0092 0.0452 4.2241
1.1203 1.8525 1.9325 1.1445 1.0971 0.0474 4.0273
1.2048 1.7248 1.7948 1.2292 1.1813 0.0479 3.9799
1.4579 1.4243 1.4843 1.4886 1.4284 0.0602 3.1709
1.5939 1.3052 1.3552 1.6244 1.5645 0.0599 3.1835
1.7956 1.1558 1.2058 1.8344 1.7583 0.0761 2.5083
1.8819 1.1066 1.1466 1.9160 1.8491 0.0668 2.8545
2.1648 0.9594 0.9994 2.2100 2.1215 0.0885 2.1570
3.5704
VI.5 Nanoparticule de hidroxiapatită
44
Proba de hidroxiapatită (HAp) a fost obținută prin metode chimice; grila pentru vizualizare a fost
pregătită folosind metoda dispersiei din soluție în alcool. În figura 6.5.1. sunt prezentate imagini
TEM ale nanoparticulelor de hidroxiapatită.
(a)
(b)
Fig.6.5.1. Imagini TEM ale Nanoparticulelor de HAp depuse pe film de formvar:
(a) imaginine morphologică; (b) imagine HRTEM.
Prelucrarea difracției de electroni a fost făcută folosind aplicația CRISP2 folosind modulul ELD
conceput pentru extragerea profilelor din figurile de difracție. Imaginea din Fig. 6.5.2. prezintă
45
interfața CRISP, iar imaginea din figura 6.5.3. prezintă profilul extras din figura de difracție
obținut prin metoda clasică fără precesie activată. În imaginile din Fig. 6.5.4, și Fig. 6.5.5, sunt
cuprinse informațiile privind figura de difracție obținută după activarea sistemului de precesie.
Fig. 6.5.2. Interfața CRISP pentru prelucrarea figurilor de difracție folosind modulul ELD
Fig. 6.5.3. Profilul extras din figura de difracție pentru HAp fără precesie activată
46
Fig. 6.5.4. Interfața CRISP pentru prelucrarea figurilor de difracție folosind modulul ELD cu
precesia activată
Fig. 6.5.5. Profilul extras din figura de difracție pentru HAp cu precesie activată
Analiza profilelor și graficul de comparație sunt prezentate în figura 6.5.6.(a) și respectiv
Fig. 6.5.6.(b)
47
(a) (b)
Fig. 6.5.6. Profilele extrase pentru proba de HAp în cele două cazuri (a)
și graficul de comparație (b)
Din analiza Scherrer a lărgimilor la semiânălțime rezultă zone cristaline de ordinul 6,05 nm,
respectiv 5,37 nm, după cum se observă în Tab. 6.5.a și respectiv Tab. 6.5.b.
Tabelul 6.5.a Analiza Scherrer pentru nanoparticule de HAp fără precesie
NrCrt R(pixeli) dhkl(A) FWHM(pixeli) FWHM(A) Int Int/Imax
1* 132 3.368 7 0.17 68 5452
2* 147 3.0173 7.01 0.14 27 2181
3* 154 2.8846 7.01 0.12 99 7927
4* 182 2.4476 7.03 0.09 125 10000
5* 203 2.1949 7.04 0.07 38 3090
6* 219 2.0337 7.06 0.06 67 5361
7* 239 1.8611 7.08 0.05 23 1856
8* 269 1.6585 7.1 0.04 27 2208
9* 287 1.555 7.12 0.04 46 3684
10* 311 1.4333 7.15 0.03 47 3824
11* 363 1.228 7.22 0.02 6 537
12* 384 1.1598 7.25 0.02 6 548
13* 411 1.0849 7.29 0.02 4 378
2theta dhklMin(A) dhklMax(A) 2thetamin 2thetamax beta Dds(nm)
0.6295 3.2830 3.4530 0.6458 0.6140 0.0318 6.0014
0.7027 2.9473 3.0873 0.7193 0.6867 0.0326 5.8494
0.7350 2.8246 2.9446 0.7506 0.7200 0.0306 6.2379
0.8662 2.4026 2.4926 0.8824 0.8506 0.0319 5.9885
0.9659 2.1599 2.2299 0.9816 0.9508 0.0308 6.1922
1.0425 2.0037 2.0637 1.0581 1.0273 0.0308 6.2023
1.1392 1.8361 1.8861 1.1547 1.1241 0.0306 6.2332
1.2784 1.6385 1.6785 1.2940 1.2631 0.0308 6.1876
48
1.3634 1.5350 1.5750 1.3812 1.3461 0.0351 5.4393
1.4792 1.4183 1.4483 1.4949 1.4639 0.0310 6.1619
1.7265 1.2180 1.2380 1.7407 1.7126 0.0281 6.7847
1.8281 1.1498 1.1698 1.8440 1.8124 0.0315 6.0519
1.9543 1.0749 1.0949 1.9725 1.9364 0.0360 5.2953
6.0481
Tabelul 6.5.b Analiza Scherrer pentru nanoparticule de HAp cu precesie
NrCrt R(pixeli) dhkl(A) FWHM(pixeli) FWHM(A) Int Int/Imax
1* 160 2.7747 7.4 0.12 490 7023
2* 187 2.3847 7.21 0.09 698 10000
3* 225 1.9824 7.07 0.06 259 3712
4* 245 1.8212 7.06 0.05 55 792
5* 274 1.6254 7.12 0.04 131 1883
6* 291 1.5317 7.19 0.04 331 4739
7* 316 1.4113 7.37 0.03 430 6164
8* 354 1.2598 7.76 0.03 7 102
9* 366 1.2188 7.91 0.03 41 587
10* 425 1.0506 8.9 0.02 78 1120
11* 448 0.9963 9.4 0.02 34 491
2theta dhklMin(A) dhklMax(A) 2thetamin 2thetamax beta Dds(nm)
0.7641 2.7147 2.8347 0.7810 0.7479 0.0331 5.7714
0.8891 2.3397 2.4297 0.9062 0.8726 0.0336 5.6846
1.0695 1.9524 2.0124 1.0859 1.0535 0.0324 5.8933
1.1641 1.7962 1.8462 1.1803 1.1484 0.0320 5.9688
1.3044 1.6054 1.6454 1.3206 1.2885 0.0321 5.9430
1.3842 1.5117 1.5517 1.4025 1.3663 0.0362 5.2775
1.5023 1.3963 1.4263 1.5184 1.4865 0.0319 5.9741
1.6829 1.2448 1.2748 1.7032 1.6631 0.0401 4.7601
1.7396 1.2038 1.2338 1.7612 1.7184 0.0428 4.4552
2.0181 1.0406 1.0606 2.0375 1.9991 0.0384 4.9657
2.1281 0.9863 1.0063 2.1497 2.1069 0.0427 4.4655
5.3781
Imagina HRTEM (Fig. 6.5.1. b ) prezintă particule cristalizate de HAp, cu dimensiuni în intervalul
10 ÷ 20nm (caz foarte dificil de analizat). O primă problemă constă în posibilitatea de a identifica
toate vârfurile pentru cazul de precesie Fig. 6.5.6. (a); chiar și profilurile prezintă o valoare mai
mare a intensităților comparativ cu cazul clasic. De asemenea, evoluția raportului intensităților
Fig. 6.5.6.(b) are un comportament aleatoriu în jurul datelor XRD. Acesta poate fi atribuită unui
eșantion structural și morfologic complex. Un sistem multifazic nu poate fi analizat cu un astfel
de algoritm simplu. Pentru a finaliza, putem separa faze, majoritar amorfe comparînd rezultatele.
49
Concluzii
Lucrarea de față și-a propus realizarea unui dispozitiv destinat optimizării sistemului de
precesie electronică.
Sistemul de precesie pentru difracția electronilor, acționează asupra bobinelor din coloana
microscopului electronic realizând operațiile de rotire a fascicolului de electroni. Rotirea
fascicolului se face cu ajutorului unui semnal alternativ aplicat la bornele bobinei C2 (folosită
pentru înclinarea fascicolului în modul normal de lucru), respectiv la bonele bobinei DESCAN,
pentru a refocaliza fascicolul pe direcția axei optice.
În vederea optimizării sistemului de precesie am realizat o platformă digitală de control
pentru comanda potențiometrelor (sistemului SpiningStar, montat pe Microscopul Electronic prin
Transmisie Philips CM 120/STEM), de ajustare a corecțiilor. Aceste corecții sunt aplicate
bobinelor stigmatoare ale lentilei C2 pentru ajustarea circularității; astfel rotirea fascicolului de
electroni se produce pe un cerc și nu pe elipsă (caz în care apar informații incorecte la prelucrarea
imaginilor). Prima etapă în realizarea platformei a constat în identificarea motoarelor electrice
care pot fi utilizate în experiment. Din seria de tipuri de motoare, care sunt vizate (motoarele de
curent continuu, motoarele de curent alternativ (asincrone; sincrone), servo motoare, motoare pas
cu pas, hibride, etc), s-a ales motorul pas cu pas.
Pentru Motorul DC pas cu pas am folosit un tranzistor Darlington pentru a putea controla
un curent cât mai mare, cu un curent de comandă cât mai mic; comanda motoarelor pas cu pas se
face cu platformă electronică Arduino prin 4 semnale ce vor comanda tranzistoarele pentru
efectuarea pașilor. Arduino IDE conține o bibliotecă de funcții pentru generarea semnalelor
necesare comenzilor pentru acest tip de motor.
Este prezentat un exemplu funcțional de comandă a motorului privind pașii și sensul de rotație.
Pentru a realiza platforma funcțională necesară pentru optimizarea sistemului de precesie au fost
necesare 8 motoare pas cu pas care corectează alinierea fascicolului, respectiv alinierea DESCAN.
Astfel codul nostru de față conține 8 clase Stepper.
Cele două module de aliniere au fost codificate prin BA pentru Beam Alignment, respectiv DA,
pentru DESCAN Alignment. De asemenea au fost introduse variablele m<Numar motor>(bas au
da)p<Numar pin intrare>, pentru a menține sistemul flexibil. Astfel orice modificare din
configurația electrică, poate fi ajustată în cod prin modificarea aferentă a variabilelor.
Pentru Funcția setup() a fost realizată de inițializarea vitezei de rotație; această viteză se poate
modifica ulterior dacă este cazul.
Pentru conectarea sistemului la aplicația de prelucrare a imaginilor, a fost inițializată comunicația
serială. Pentru bucla infinită, se prevede o parte de identificare a comenzilor, primite de la aplicația
50
de prelucrare a imaginilor, și o parte de execuție. În aplicația de prelucrare a imaginilor se prevede
un modul care transformă abaterile de la forma în pași pentru sistemul nostru, astfel comenzile
primite sunt ușor de interpretat.
Variabila pasi este de tip character pe 8 biți, deci exită posibilitatea trimiterii comenzilor care
permit deplasarea motoarelor cu un număr de 127 pași într-un sens, respectiv 128 pași în sens
invers.
Sistemul de achiziție și prelucrare a imaginilor este integrat în platforma iTEM.
Pentru a interveni în operația de achiziție, și a prelucra informațiile, s-a adăugat un modul, care
poate fi dezvoltat folosind ImagingC integrat în platforma iTEM. Este prezentată o aplicație scrisă
pentru ImagingC.
Pentru a înregistra funcțiile din modul în platforma iTEM se folosește IDM_SAMPLE. Dacă acest
identificator nu este unic, funcțiile definite în modul nu vor fi accesibile. Pentru apelarea unei
funcții externe, se poate folosi macro library care permite accesul către o bibliotecă externă
înregistrată în sistemul de operare.
Având în vedere faptul că aplicația trebuie să prelucreze informația live, iar apoi să trimită codul
pentru actualizarea poziției motoarelor pas cu pas, am optat pentru gruparea funcțiilor necesare
într-o astfel de bibliotecă. Transformata Radon este dezvoltată ca aplicație în limbaj C/C++ sau
Java (ImageJ), deci este folosit algoritmul respectiv. În bibliotecă a fost adăugat codul necesar
pentru accesul la resursele sistemului, și anume portul serial (USB) pentru a comunica cu platforma
ATMEGA2560.
Pentru a evidenția îmbunătățirea rezultatelor obținute prin utilizarea sistemului de precesie aplicat
difracției electronilor (PED) am realizat un studiu pe o serie de 5 probe, având diferite compoziții
și structuri cristaline. Prima probă prezentată este un film subțire de carbon amorf. Urmează două
materiale având structură cubică cu fețe centrate, Au și Al. Proba cu Au se prezintă sub formă de
nanoparticule, iar proba de Al sub formă de film policristalin. Urmează două probe cu structură
diferită de cea cubică: CdS și hidroxiapatită. Am ales CdS și pentru faptul că prezintă două faze
predominante, adică hexagonală și cubică. Vom evidenția și separarea fazelor folosind tehnica
PED. Hidroxiapatita prezintă o structură de tip hexagonal. Filmul amorf de carbon ales pentru
studiu, film obținut prin metoda TVA, este depus pe substrat de Si. Întrucât ordonarea în filmul de
carbon amorf este limitată la o distanță foarte resusă (2÷3 ori valoarea parametrului de structură),
putem considera structura hexagonală a grafitului sau cubică a diamantului, efectele dinamice fiind
neglijabile. Diferența dintre intensități, așa cum se poate observa în figura 6.1.5, nu poate fi
atribuită acestor efecte. Din analiza Scherrer a lățimilor de semiânălțime, dimensiunea cristalului
este de ordinul 1,94 nm și, respectiv, 1,87 nm, așa cum se vede în tabelul 6.1. (a) și tabelul 6.1 (b).
Dacă comparăm aceste valori cu parametrul de grilă de grafit (0,676 nm), obținem un raport de
aproximativ 2,86, iar cu cel al diamantului (0,541 nm) un raport de aproximativ 3,45. Aceste valori
51
confirmă prezența filmului amorf, posibil constând dintr-un amestec de faze cristaline grafit /
diamant în regiuni de dimensiuni reduse. (~ 2nm).
Eșantionul de Au a fost obținut prin evaporarea în vid pe substratul de carbon amorf (de exemplu,
disponibil comercial ca Quantifoil R1.2). Din analiza Scherrer a FWHM calculată pentru
eșantionul cu nanoparticule de aur, se obține dimensiunea cristalelor de 7,91nm pentru difracția
electronică clasică și 7,22nm pentru modelul de difracție de electroni cu sistem de precesie activ,
așa cum se vede în tabelul 6.2; aici se discută particule cristalizate, cu dimensiuni cuprinse între
5 și 20 nm, formând grupuri de particule în diferite locuri. Este un eșantion cu particule
monocristaline și policristaline. În medie, dimensiunea nanocristalelor poate fi considerată în jur
de 7nm. După cum se vede în figura 6.2.6(a), intensitatea profilului extras este mai intensă în
cazul datelor obținute cu ajutorul sistemului de precesie. Intensitățile relative calculate din
profilurile de difracție a electronilor în ambele cazuri, sunt foarte apropiate de datele XRD (Fig.
6.2.6 b). Deoarece valorile corespunzătoare cazului de precesie sunt în special aproape identice cu
valorile dade de XRD (0,204 nm și 0,124 nm), se poate concluziona că acesta este exemplu
experimental de luat în seamă în primul rând. Analiza Scherrer a FWHM pentru filmul de Al
evidențiază dimensiuni ale cristalelor de 10,52nm (Tab. 6.3a) utilizând difracția clasică de
electroni și respectiv de 7,27nm folosind modului de difracție cu sistemul de precesie activ.
Imaginile TEM (Fig. 6.3.2. și Fig. 6.3.3.) evidențiază grăunți ai stratului de Al cu dimensiuni
cuprinse în intervalul 10÷100nm; Pe baza figurii 6.3.6.a putem compara intensitățile pentru
ambele cazuri și deasemenea luând în seamă și raportarea la XRD (Fig. 6.3.6.b), constatăm că este
prezent același efect ca în cazul probei de Au. Datele clasice sunt apropiate de XRD, pe când
valorile raportului evaluat din datele achizitionate folosind sistemul de precesie sunt mai mari.
În cazul CdS pentru analiza Scherrer, am selectat primele vârfuri identificate și asociate cu
structura cubică a CdS. Putem presupune în acest caz un amestec de faze cubic/ hexagonal. Din
analiza Scherrer a FWHM rezultă o dimensiune a cristalelor de 4,46nm pentru difracția electronică
clasică și 3,57 nm pentru modelul de difracție de electroni cu sistem de precesie (Tab. 6.4.
a și b). Observăm același comportament ca și în cazul filmului de carbon amorf, aici ordonarea în
material fiind echivalentă cu mărimea nanoparticulelor. Putem concluziona, în astfel de cazuri,
că vorbim despre un eșantion în care nanoparticulele cristaline sunt monocristale. Acest caz arată
că nu există diferențe între profiluri și comparativ cu XRD (Fig. 6.4.6.(b)) obținem aceeași
evoluție, dar cu valori mai mici pentru ambele cazuri.
Pentru nanoparticulele de hidroxiapatită (eșantionul a fost obținut prin metode chimice), din
analiza Scherrer a FWHM, rezultă zone cristaline de ordinul 6,05 nm pentru difracția electronică
clasică și 5,37 nm pentru modelul de difracție electronică cu sistem de precesie activ (Tab.6.5.).
52
Imaginea HRTEM Fig. 6.5.1. (b) prezintă particule cristalizate de HAp, cu dimensiuni în intervalul
10-20nm (caz foarte dificil de analizat). O primă problemă constă în imposibilitatea de a identifica
toate vârfurile pentru cazul de precesie (Fig. 6.5.6. (a)); chiar și profilurile prezintă o valoare mai
mare a intensităților comparativ cu cazul clasic. De asemenea, evoluția raportului intensităților
(Fig. 6.5.6 (b)), are un comportament aleatoriu în jurul datelor XRD. Aceasta poate fi atribuită
unui eșantion structural și morfologic complex. Un sistem multifazic nu poate fi analizat cu un
astfel de algoritm simplu. Pentru a finaliza, putem separa faze, și comparat rezultatele.
În concluzie, putem afirma că metoda de precesie aplicată difracției electronilor, elimină parțial
efectele dinamice, în special împrăștieri multiple. Din cazurile studiate, se observă, de asemenea,
că nu există diferențe semnificative pentru probele majoritar amorfe (C, CdS).
În cazul probelor cristaline, se observă îmbunătățiri semnificative în intensitate ale intensității
vârfurilor din profilurile extrase din figura de difracție (Au, Al).
În cazul acestor probe, există o diferență în dimensiunea suprafeței cristaline estimate prin formula
Scherrer, astfel pentru nanoparticulele din Au această diferență este nesemnificativă de
aproximativ 0,6 nm, în vreme ce pentru Al în cazul căruia se pot elimina împrăștierile, folosirea
sistemului de precesie se reflectă și în dimensiunea zonei cristaline determinată prin formula
Scherrer. Astfel folosind difractia de electroni clasică, obținem o dimensiune Scherrer de 10,53nm,
iar prin activarea sistemului de precesie, dimensiunea scade la 7,22nm.
Un efect similar survine în cazul probei cu nanoparticule de CdS (de la 4,46nm scade la 3,57nm),
iar în cazul probei cu nanoparticule de HAp scăderea se produce de la 6,04nm la 5,37nm.
În cazul probei de HAp există dificultăți în identificarea fazelor de extensie în probă datorită
zgomotului de retroânprăștiere, aspect care afectează analiza comparativă.
În acest caz este preferabil un punct de vedere structural pentru caracterizarea materialului. Mai
exact, analiza poate fi continuată după identificarea picurilor de interes, fără a considera alte faze
ale probei.
53
Bibliografie
[1] Murphy, D. (2001). Fundamentals of Light Microscopy and Electronic Imaging. Wiley-Liss.
[2] C. Richard Brundle, Charles A. Evans, Jr., Shaun Wilso (editori): ENCYCLOPEDIA OF
MATERIALS CHARACTERIZATION - Surfaces, Interfaces, Thin Films, 1992
[3] V. Ciupină, S. Zamfirescu, G.Prodan, „Transmission Electron Microscopy”, Ovidius
University Press, Constanţa, 2002
[4] David B. Williams, C.Barry Carter-Transmission Electron Microscopy, ISBN
978-0- 387-76501-3, ed.Springer Science + Business Media,New York,2009
[5] S. Amelincks, D. van Dyck, J. van Landuyt, G.van Tendeloo, Electron Microscopy.
Principles and Fundamentals, ISBN 3-527-29479-1, Weinheim, VCH, 1997;
[6] P.G. Ploaie, Z. P. (1979). Introducere în microscopia electronică. București: Editura
Academiei.
[7] P.J. Goodhew, J. H. (2000). Electron Microscopy and Analysis. London: Taylor&Francis
[8] CODATA. The NIST Reference on Units, Constants, and Uncertainty., 2018
[9] R. Vincent, P. M. (1994). Double conical beam-rocking system for measurement of
integrated electron diffraction intensities. Ultramicroscopy 53(3), 271-282
[10] Own, C. (2005). System Design and Verification of the Precession Electron Diffraction
Technique. PhD Thesis Northwestern Univ.
[11] Kittel, C. (1971). Introducere în fizica corpului solid. București: Editura Tehnică.
[12] Schwarzenbach, D. (1993). Crystallography. John Willey and Sons.
[13] R.E.Van Grieken, A. M. (2001). Handbook of X-Ray Spectrometry. Marcel Decker.
[14] Lewis, W. (1899). A Treatise on Crystallography. Cambridge Univ. Press.
[15] Lipson H., C. W. (1957). The crystalline state. Vol III The determination of crystal structure.
G. Bell and Sons Ltd.
[16] G.L.Clark. (1932). Applied X-Rays. McGraw Hill.
[17] H. Wondratschek, U. M. (2004). International Tables for Crystallography Volume A1:
Symmetry Rellations between Space Group. Springer.
54
[18] Hahn, T. (2005). International Tables for Crystallography Volume A: Space-Group
Symmetry. Springer.
[19] Hammond, C. (1992). Introduction to Crystallography. Oxford University Press.
[20] A. Altomare, G. C. (1993). Completion and refinement of crystal structures with SIR92. J.
Appl. Cryst. 26, 343-350.
[21] A. Jillavenkatesa, L. L. (2001). Particle Size Characterization NIST960-1. NIST.
[22] Allen, T. (1997). Particle Size Measurement Volume I, Volume 2. New York: Chapman &
Hall.
[23] A. Altomare, G. C. (1993). Completion and refinement of crystal structures with SIR92. J.
Appl. Cryst. 26, 343-350.
[24] A. Boultif, D. L. (2004). Powder pattern indexing with the dichotomy method. J. Appl. Cryst.
37 , 724-731.
[25] Bail, A. L. (2004). Monte Carlo indexing with McMaille. Powder Diffraction Journal 19(2),
249-254.
[26] F. Izumi, T. I. (2000). A Rietveld-Analysis Programm RIETAN-98 and its Applications to
Zeolites. Materials Science Forum 321-324, 198-205.
[27] P.E. Werner, L. E. (1985). TREOR, a semi-exhaustive trial-and-error powder indexing
program for all symmetries. J.Appl.Cryst. 18 , 367-370.
[28] Shirley, R. (2002). The Crysfire 2002 System for Automatic Powder Indexing: User's Manual.
The Lattice Press.
[29] T. Taut, R. K. (1998). The new Seifert Rietveld program BGMN and its application to
quantitative phase analysis. Materials Science (Bulletin of the Czech and Slovak
Crystallographic Association) 5, 55-64.
[30] V. Favre-Nicolin, R. C. (2002). FOX, `free objects for crystallography': a modular approach
to ab initio structure determination from powder diffraction. J. Appl. Cryst. 35 , 734-743.
[31] Visser, J. W. (1969). A fully automatic program for finding the unit cell from powder data. J.
Appl. Cryst. 2 , 89-95 .
[32] Young, R. (1993). The Rietveld Method. Oxford: Oxford Univ. Press.
[33] Rodríguez-Carvajal, J. (1993). Recent Advances in Magnetic Structure Determination by
Neutron Powder Diffraction. Physica B 192, 55-69.
55
[34] Hahn, T. (2005). International Tables for Crystallography Volume A: Space-Group
Symmetry. Springer.
[35] H. Wondratschek, U. M. (2004). International Tables for Crystallography Volume A1:
Symmetry Rellations between Space Group. Springer.
[36] Shmueli, U. (2005). International Tables for Crystallography Volume B: Reciprocal Space.
Springer.
[37] Hovmöller, S. (1992). CRISP: crystallographic image processing on a personal computer.
Ultramicroscopy 41, 121-135.
[38] iTEM. (2006). iTEM Platform. Preluat de pe www.soft-imaging.net: www.soft-imaging.net
[39] Jones, H. (1960). The Theory of Brillouin Zones and Electronic States in Crystals. North
Holland
[40] Koch, C. (2002). Determination of Core Structure Periodicity and Point Defects density along
Dislocation. PhD Dissertation Arizona State Univ.
[41] Lábár, J. (2005). Consistent indexing of a (set of) SAED pattern(s) with the ProcessDiffraction
program. Ultramicroscopy 103, 237-249.
[42] Li, J. (2003). AtomEye: an efficient atomistic configuration viewer. Modelling Simul. Mater.
Sci. Eng. 11, 173-177.
[43] R. Kilaas, C. O. (2006, June). EDM. Preluat de pe EDM: Electron Direct Methods:
http://www.numis.northwestern.edu/edm/
[44] Marton, L. (1975). Advances in Electronics and Electron Physics Volume 39. New York:
Academic Press.
[45] Marton, L. (1978). Advances in Electronics and Electron Physics Volume 46. New York:
Academic Press.
[46] Randall, J. (1934). The diffraction of X-Rays and Electrons by Amorphous Solids, Liquids and
Gases. John Willey and Sons.
[47] S.J.L.Billinge, M. T. (2002). Local Structure from Diffraction. New York: Kluwer Academic
Publisher.
[48] D.S. Billington, J. C. (1961). Radiation Damage in Solids. London: Princeton University
Press.
[49] Elliot, S. (1984). Physics of Amorphous Materials. Longman
56
[50] Cid-Dresdner, H. (1965). Determination and refinement of the crystal structure of turquois.
Zeitschrift fur Kristallographie , 121, 87-113.
[51] B. Wunder, D. R. (1993). Synthesis, stability, and properties of Al2SiO4(OH)2: A fully
hydrated analogue of topaz . American Mineralogist 78, 285-297.
[52] Hendricks, S. B. (1937). The crystal structures of alunite and the jarosites . American
Mineralogist 22, 773-784.
[53] Lipson H., C. W. (1957). The crystalline state. Vol III The determination of crystal structure.
G. Bell and Sons Ltd.
[54] Wyckoff, R. W. (1963). Crystal Structures 1. New York: Interscience Publishers, New York.
[55] W. Hume-Rothery, G. V. (1962). The structure of metals and alloys. Michigan: Institute of
Metals.
[56] Thomas, G. (1972). Electron Microscopy and Structure of materials: Proceedings. Berkely
and Los Angeles: University of California Press.
[57] Kak & Slaney (1988), Principles of Computerized Tomographic Imaging, IEEE Press,
ISBN 0-87942-198-3.
[58] X.S. Zou, Ultramicroscopy 52(3-4), 436(1993)
[59] M. U. Cohen: Rev. Sci. Instrum., 6 (1935), 68.
[60] M. U. Cohen: Z. Kristallogr., A94 (1936), 288.
[61] D. S. Tsai, T. S. Chin, S. E. Hsu, M. P. Hung, A Simple Method for the Determination of
Lattice Parameters from Powder X-ray Diffraction Data, Materials Transactions,
JIM, 1989, Volume 30, Issue 7, Pages 474-479, Released June 01, 2007, Online ISSN 2432-
471X, Print ISSN 0916-1821
[62] Rasband WS. ImageJ, U.S. National Institutes of Health, Bethesda, Maryland, USA,
imagej.nih.gov/ij/, 1997–2012.
[63] R. Vincent, P. M. (1994). Double conical beam-rocking system for measurement of integrated
electron diffraction intensities. Ultramicroscopy 53(3), 271-282.
[64] Debye, P. (1931). The interference of electrons. London: Blackie and Son Limited.
[65] Cochrane, T. (1939). Teories and practice in electron diffraction. MacMillan.
[66] (WWW-MINCRYST, GOLD-1780)
[67] C.R. Brundle, C. E. (1992). Encyclopedia of Materials Characterization. Butterworth-Heinemann
57
[68] C.N.R. Rao, P. T. (2007). Nanonocrystals: Synthesis, Properties ans Applications. Springer.
[69] C.P. Poole, F. O. (2003). Introduction to Nanotechnology. John Willey and Sons.
[70] Cao, G. (2004). Nanostructures and Nanomaterials. London: Imperial College Press.
[71] arduino.cc
[72] http://robocraft.ru/files/datasheet/28BYJ-48.pdf (https://www.kiatronics.co.nz/)
[73] https://www.st.com/resource/en/datasheet/uln2001.pdf
[74] https://www.makerguides.com
[75] [72] S. Hovmöller, Ultramicroscopy 41(1-3), 121(1992)
[76] Ciupina V, Vladoiu R, Lungu C, Dinca V, Contulov M, Mandes A, Popov P and Prodan G
2012 The European Physical Journal D 66 99