MasurarearezistivitatiiprinmetodacelorpatrusondecoliniareutilizandsistemulKeithley 2400Obiectivulmetodei de masuracupatrusondeestecel de determinare a rezistivitaiioricarui material semiconductor (conductor).Poate fi folositaatatpentrucazulpieselor de dimensiunimari cat si in cazulstraturilorsubtiri.Capul de masuraesteconfectionat din 4 fire de tungsten de raza finite (mica) distribuite uniform sicoliniar. Distantaintre fire este de s=2mm.

Utilizand o sursa de current de impedanta mare se injecteazaprinsondeleexterioare (extreme) un current iar cu ajutorulsondelorinterioare se citestetensiuneapentru a determinarezistantasi respective rezistivitateamaterialuluistudiat (v. Fig.1).

Fig.1 Configuratiacoliniara de masuraprinmetodacelorpatrusonde

Cazulprobelor de volum mareConsiderandt>>ssicaavem o distributiesferica a curentului in juruluneisonde.Ecuatiarezistentei se poatescrie sub forma:

(1)Prinintegrare se obtine: (2)Datoritasuperpozitieicuentului la celedouavarfuri de sondaexterioareR=V/2I.

Rezulta:

(3)Cazulstraturilorsubtiri

Dacaavemstraturisubtiripentru care estevalabilarelatia t